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1. (WO2018096037) DISPOSITIF À ACTIVITÉ ÉLECTRO-OPTIQUE

Pub. No.:    WO/2018/096037    International Application No.:    PCT/EP2017/080220
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 24 00:59:59 CET 2017
IPC: G02F 1/017
Applicants: ROCKLEY PHOTONICS LIMITED
Inventors: YU, Guomin
ZILKIE, Aaron
Title: DISPOSITIF À ACTIVITÉ ÉLECTRO-OPTIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif à activité électro-optique à base de silicium, ainsi qu'un procédé de fabrication associé. Le dispositif comprend : une couche de silicium sur isolant (SOI); un empilement à activité électro-optique qui se situe sur la couche de SOI, et qui inclut une première structure à croissance épitaxiale comportant un premier guide d'ondes passif et une seconde structure à croissance épitaxiale comportant un second guide d'ondes passif, les premier et second guides d'ondes passifs étant disposés adjacents à des côtés respectifs de l'empilement à activité électro-optique, ces premier et second guides d'ondes passifs étant conçus pour injecter par le bord la lumière provenant du premier guide d'ondes passif dans l'empilement à activité électro-optique et provenant dudit empilement à activité électro-optique dans le second guide d'ondes passif; et une structure d'injection évanescente permettant d'injecter de manière évanescente la lumière entre la couche de SOI et les premier et second guides d'ondes passifs.