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1. (WO2018094905) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉCRAN FILTRE SUR UN CAPTEUR MEMS, ET CAPTEUR MEMS

Pub. No.:    WO/2018/094905    International Application No.:    PCT/CN2017/075595
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 04 00:59:59 CET 2017
IPC: H04R 1/02
B81B 7/00
B81C 3/00
Applicants: GOERTEK. INC
歌尔股份有限公司
Inventors: ZHAN, Junkai
詹竣凯
ZHOU, Zonglin
周宗燐
QIU, Guanxun
邱冠勳
CAI, Mengjin
蔡孟锦
Title: PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉCRAN FILTRE SUR UN CAPTEUR MEMS, ET CAPTEUR MEMS
Abstract:
L'invention concerne un procédé de formation d'un écran filtre sur un capteur MEMS, ainsi qu'un capteur MEMS. Le procédé comprend les étapes suivantes consistant à : fournir, au niveau d'un substrat (13), un ruban adhésif (12) apte à se séparer, et former un écran filtre (11) au niveau d'une surface adhésive du ruban adhésif (12) apte de se séparer ; transférer l'écran filtre (11) à un film mince (14) pour former un matériau de rouleau autoadhésif (15) ; et transférer et faire adhérer l'écran filtre (11), au niveau du matériau de rouleau autoadhésif (15), à un trou de collecte (16) d'un capteur MEMS. L'écran filtre (11) formé par le procédé ci-dessus a de petites ouvertures d'écran disposées de manière étroite et uniforme. Le procédé ci-dessus permet un rendement élevé et est applicable à la production de masse.