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1. (WO2018094905) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉCRAN FILTRE SUR UN CAPTEUR MEMS, ET CAPTEUR MEMS
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N° de publication : WO/2018/094905 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/075595
Date de publication : 31.05.2018 Date de dépôt international : 03.03.2017
CIB :
H04R 1/02 (2006.01) ,B81B 7/00 (2006.01) ,B81C 3/00 (2006.01)
Déposants : GOERTEK. INC[CN/CN]; 268 Dongfang Road, Hi-Tech Industry District Weifang, Shandong 261031, CN
Inventeurs : ZHAN, Junkai; CN
ZHOU, Zonglin; CN
QIU, Guanxun; CN
CAI, Mengjin; CN
Mandataire : BEYOND TALENT PATENT AGENT FIRM; Room 1202, Kuntai Building #10 Chaoyangmenwai Str., Chaoyang District Beijing 100020, CN
Données relatives à la priorité :
201611041741.X22.11.2016CN
Titre (EN) METHOD FOR FORMING FILTER SCREEN ON MEMS SENSOR, AND MEMS SENSOR
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉCRAN FILTRE SUR UN CAPTEUR MEMS, ET CAPTEUR MEMS
(ZH) 在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器
Abrégé : front page image
(EN) Provided are a method for forming a filter screen on an MEMS sensor, and an MEMS sensor. The method comprises the following steps: providing, at a substrate (13), an adhesive tape (12) capable of separation, and forming a filter screen (11) at an adhesive surface of the adhesive tape (12) capable of separation; transferring the filter screen (11) to a thin film (14) to form a self-adhesive roll material (15); and transferring and adhering the filter screen (11) at the self-adhesive roll material (15) to a collection hole (16) of an MEMS sensor. The filter screen (11) formed by the above method has small screen openings arranged closely and uniformly. The above method enables a high yield, and is applicable to mass production.
(FR) L'invention concerne un procédé de formation d'un écran filtre sur un capteur MEMS, ainsi qu'un capteur MEMS. Le procédé comprend les étapes suivantes consistant à : fournir, au niveau d'un substrat (13), un ruban adhésif (12) apte à se séparer, et former un écran filtre (11) au niveau d'une surface adhésive du ruban adhésif (12) apte de se séparer ; transférer l'écran filtre (11) à un film mince (14) pour former un matériau de rouleau autoadhésif (15) ; et transférer et faire adhérer l'écran filtre (11), au niveau du matériau de rouleau autoadhésif (15), à un trou de collecte (16) d'un capteur MEMS. L'écran filtre (11) formé par le procédé ci-dessus a de petites ouvertures d'écran disposées de manière étroite et uniforme. Le procédé ci-dessus permet un rendement élevé et est applicable à la production de masse.
(ZH) 一种在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器。该方法包括以下步骤:在基材(13)上设置可解离胶带(12),在可解离胶带(12)的粘接面上形成过滤网(11);将所述过滤网(11)转印到薄膜(14)上,以形成自粘卷材(15);将位于所述自粘卷材(15)上的所述过滤网(11)转移粘接到MEMS传感器的采集孔(16)上。该方法形成的过滤网(11),网孔细密、均匀,并且良品率高。此外,该方法适用于大规模生产。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)