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1. (WO2018094358) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET SUPPORT LISIBLE PAR ORDINATEUR NON TRANSITOIRE POUR ACCORDER DES SENSIBILITÉS DE TRANCHE MODULÉE ET DÉTERMINER UNE FENÊTRE DE TRAITEMENT POUR LADITE TRANCHE
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N° de publication : WO/2018/094358 N° de la demande internationale : PCT/US2017/062622
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 20.11.2017
CIB :
G01N 21/95 (2006.01) ,G01N 21/01 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 21/95][IPC code unknown for G01N 21/01]
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
ORAM, David C.; US
MATHUR, Abhinav; US
WU, Kenong; US
SHIFRIN, Eugene; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N.; US
Données relatives à la priorité :
15/813,00414.11.2017US
62/425,02921.11.2016US
Titre (EN) SYSTEM, METHOD AND NON-TRANSITORY COMPUTER READABLE MEDIUM FOR TUNING SENSITIVIES OF, AND DETERMINNG A PROCESS WINDOW FOR, A MODULATED WAFER
(FR) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET SUPPORT LISIBLE PAR ORDINATEUR NON TRANSITOIRE POUR ACCORDER DES SENSIBILITÉS DE TRANCHE MODULÉE ET DÉTERMINER UNE FENÊTRE DE TRAITEMENT POUR LADITE TRANCHE
Abrégé :
(EN) A system, method, and non-transitory computer readable medium are provided for tuning sensitivities of, and determining a process window for, a modulated wafer. The sensitivities for dies of the modulated wafer are tuned dynamically based on a single set of parameters. Further, the process window is determined for the modulated wafer from prior determined parameter-specific nominal process windows.
(FR) L'invention concerne un système, un procédé et un support lisible par ordinateur non transitoire qui permettent d'accorder des sensibilités de tranche modulée et de déterminer une fenêtre de traitement pour ladite tranche. Les sensibilités des puces de la tranche modulée sont accordées dynamiquement en fonction d'un ensemble unique de paramètres. En outre, la fenêtre de traitement est déterminée pour la tranche modulée à partir de fenêtres de traitement nominales, spécifiques à un paramètre et déterminées préalablement.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)