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1. (WO2018094022) COLLIMATEUR DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS UNE CHAMBRE DE DÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR

Pub. No.:    WO/2018/094022    International Application No.:    PCT/US2017/061975
Publication Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: H01J 37/34
C23C 14/22
C23C 14/34
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: YOSHIDOME, Goichi
MILLER, Keith A.
TAVASSOLI, Hamid
TOMKO, Andrew
Title: COLLIMATEUR DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS UNE CHAMBRE DE DÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention concernent des collimateurs et des chambres de traitement comprenant ces collimateurs. Dans certains modes de réalisation, un collimateur destiné à être utilisé dans une chambre de traitement de substrat comprend un anneau ; un adaptateur entourant l'anneau et ayant une paroi annulaire intérieure ; et une pluralité de rayons s'étendant à partir de la paroi annulaire intérieure et se croisant au niveau d'un axe central du collimateur.