WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2018094022) COLLIMATEUR DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS UNE CHAMBRE DE DÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/094022 N° de la demande internationale : PCT/US2017/061975
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 16.11.2017
CIB :
H01J 37/34 (2006.01) ,C23C 14/22 (2006.01) ,C23C 14/34 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : YOSHIDOME, Goichi; US
MILLER, Keith A.; US
TAVASSOLI, Hamid; US
TOMKO, Andrew; US
Mandataire : BISHARA, Amir; US
TABOADA, Alan; US
MOSER, JR., Raymond R.; US
LINARDAKIS, Leonard P.; US
Données relatives à la priorité :
15/814,68416.11.2017US
62/424,34718.11.2016US
Titre (EN) COLLIMATOR FOR USE IN A PHYSICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER
(FR) COLLIMATEUR DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS UNE CHAMBRE DE DÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR
Abrégé : front page image
(EN) Embodiments of collimators and process chambers incorporating same are provided herein. In some embodiments, a collimator for use in a substrate processing chamber includes a ring; an adapter surrounding the ring and having an inner annular wall; and a plurality of spokes extending from the inner annular wall and intersecting at a central axis of the collimator.
(FR) Des modes de réalisation de l'invention concernent des collimateurs et des chambres de traitement comprenant ces collimateurs. Dans certains modes de réalisation, un collimateur destiné à être utilisé dans une chambre de traitement de substrat comprend un anneau ; un adaptateur entourant l'anneau et ayant une paroi annulaire intérieure ; et une pluralité de rayons s'étendant à partir de la paroi annulaire intérieure et se croisant au niveau d'un axe central du collimateur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)