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1. (WO2018093988) SYSTÈME DE MESURE DE GAUCHISSEMENT DE NOUVELLE GÉNÉRATION
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N° de publication : WO/2018/093988 N° de la demande internationale : PCT/US2017/061927
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 16.11.2017
CIB :
G01B 11/30 (2006.01) ,G01B 11/25 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30
pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24
pour mesurer des contours ou des courbes
25
en projetant un motif, p.ex. des franges de moiré, sur l'objet
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
SU, Jun-Liang; SG
ELUMALAI, Karthik; IN
PEH, Eng Sheng; SG
THIRUNAVUKARASU, Sriskantharajah; SG
RAJAPAKSA, Dimantha; LK
Mandataire :
VILLABON, Jorge Tony; US
TABOADA, Alan; US
MOSER, JR., Raymond R.; US
LINARDAKIS, Leonard P.; US
Données relatives à la priorité :
15/623,50315.06.2017US
62/424,42219.11.2016US
Titre (EN) NEXT GENERATION WARPAGE MEASUREMENT SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE MESURE DE GAUCHISSEMENT DE NOUVELLE GÉNÉRATION
Abrégé :
(EN) Systems, apparatuses and methods for determining a surface profile of a substrate are provided. In one embodiment, a method includes projecting a signal having a vertical component/profile across the surface of the substrate from a plurality of locations along a first side of the substrate, capturing the projected signals at each of a plurality of respective locations across the surface of the substrate and determining a surface profile for the substrate using the captured signals. The process can be automated using a controller having predetermined projection and capture positions along respective sides of the substrate, where a surface profile of the substrate can be automatically determined by the controller using the captured signals.
(FR) L'invention concerne des systèmes, des appareils et des procédés qui permettent de déterminer un profil de surface d'un substrat. Dans un mode de réalisation, un procédé consiste à projeter un signal ayant une composante/un profil vertical sur toute la surface du substrat à partir d'une pluralité d'emplacements le long d'un premier côté du substrat, à capturer des signaux projetés au niveau de chaque emplacement respectif d'une pluralité d'emplacements respectifs sur toute la surface du substrat et à déterminer un profil de surface pour le substrat à l'aide des signaux capturés. Le procédé peut être automatisé à l'aide d'un dispositif de commande ayant des positions de projection et de capture prédéterminées le long de côtés respectifs du substrat, un profil de surface du substrat pouvant être automatiquement déterminé par le dispositif de commande à l'aide des signaux capturés.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)