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1. (WO2018093677) ADHÉRENCE AMÉLIORÉE PAR COUCHE DE NANOPARTICULES PRÉSENTANT DES VIDES CONÇUS DE MANIÈRE ALÉATOIRE

Pub. No.:    WO/2018/093677    International Application No.:    PCT/US2017/061078
Publication Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 11 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/56
H01L 23/495
B82Y 30/00
Applicants: TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
TEXAS INSTRUMENTS JAPAN LIMITED
Inventors: COOK, Benjamin, Stassen
Title: ADHÉRENCE AMÉLIORÉE PAR COUCHE DE NANOPARTICULES PRÉSENTANT DES VIDES CONÇUS DE MANIÈRE ALÉATOIRE
Abstract:
Dans des modes de réalisation cités à titre d'exemple, une surface (201a) d'un substrat (201) d'un premier matériau est modifiée par dépôt d'une couche (500a) d'une pâte de solvant comprenant des nanoparticules (402) d'un second matériau qui ont une taille qui fournit un point de fusion à une température inférieure à la température de point de fusion du second matériau en vrac, et des nanoparticules d'un troisième matériau qui ont une taille au moins aussi grande que la taille des nanoparticules du second matériau et un point de fusion à une température supérieure à la température de point de fusion du second matériau. Les nanoparticules du second matériau ont un pourcentage en poids plus élevé que les nanoparticules du troisième matériau. Les nanoparticules (402) du second matériau sont frittées ensemble à la température de point de fusion du second matériau. Des vides (501) sont créés dans la couche de second matériau par élimination des nanoparticules du troisième matériau. Les vides (501) ont une distribution aléatoire et des configurations tridimensionnelles aléatoires.