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1. (WO2018092441) DISPOSITIF D’ASSISTANCE À L’INSPECTION DE FUITE ET PROCÉDÉ D’INSPECTION DE FUITE UTILISANT CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/092441    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/035895
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 03.10.2017
CIB :
G01M 3/00 (2006.01), B01D 46/42 (2006.01), G01N 15/08 (2006.01)
Déposants : AIREX CO., LTD. [JP/JP]; 14-13, Tsubaki-cho, Nakamura-ku, Nagoya-shi Aichi 4530015 (JP)
Inventeurs : KAWASAKI, Koji; (JP)
Mandataire : YAMADA, Minoru; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-223199 16.11.2016 JP
Titre (EN) LEAK INSPECTION ASSISTANCE DEVICE AND LEAK INSPECTION METHOD USING SAME
(FR) DISPOSITIF D’ASSISTANCE À L’INSPECTION DE FUITE ET PROCÉDÉ D’INSPECTION DE FUITE UTILISANT CELUI-CI
(JA) リーク検査支援装置及びこれを用いたリーク検査方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a leak inspection assistance device and a leak inspection method using the same that make it possible to use a normal leak inspection device for leak inspection of a filter in a cleanroom without requiring a scanning robot, large-scale equipment, accompanying construction work, or the like, and to thereby carry out accurate leak inspection inexpensively and with a small number of workers. The present invention has a projection device for projecting a suction point for a suction probe, which is attached to a leak inspection device for carrying out leak inspection on the surface of a filter in a cleanroom, such that the suction point moves at a fixed interval and fixed speed in mutually orthogonal X- and Y-axis directions along the surface of the filter, and a worker scans the filter surface using the suction probe according to the movement of the suction point.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d’assistance à l’inspection de fuite et un procédé d’inspection de fuite utilisant celui-ci qui permettent d’utiliser un dispositif d’inspection de fuite normal pour l’inspection de fuite d’un filtre dans une salle blanche sans nécessiter un robot de balayage, un équipement à grande échelle, accompagnant des travaux de construction, ou similaire, et pour conduire ainsi une inspection de fuite précise de façon économique et avec un faible nombre de travailleurs. La présente invention comporte un dispositif de projection pour projeter un point d’aspiration pour une sonde d’aspiration, qui est fixé à un dispositif d’inspection de fuite pour effectuer une inspection de fuite sur la surface d’un filtre dans une salle blanche, de sorte que le point d’aspiration se déplace à un intervalle fixe et à une vitesse fixe dans des directions d’axe X et Y mutuellement orthogonales le long de la surface du filtre, et un travailleur balaye la surface de filtre au moyen de la sonde d’aspiration en fonction du déplacement du point d’aspiration.
(JA)クリーンルーム内のフィルタのリーク検査の際に通常のリーク検査装置を使用することができ、スキャンニング・ロボットや大掛かりな装置及び付帯工事などを必要としないので費用負担が小さく、且つ、少ない作業者で正確なリーク検査を行うことのできるリーク検査支援装置及びこれを用いたリーク検査方法を提供する。 クリーンルーム内のフィルタの表面に対して、リーク検査を行うリーク検査装置に付属する吸引プローブの吸引ポイントをフィルタの表面に沿って互いに直交するX-Y軸方向に一定の間隔及び一定の速度で移動するように投影する投影装置を有し、作業者が吸引ポイントの動きに合わせて吸引プローブを走査する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)