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1. (WO2018092281) DISPOSITIF LASER ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
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N° de publication : WO/2018/092281 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/084345
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 18.11.2016
CIB :
H01S 3/10 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
S
DISPOSITIFS UTILISANT L'ÉMISSION STIMULÉE
3
Lasers, c. à d. dispositifs pour la production, l'amplification, la modulation, la démodulation ou le changement de fréquence utilisant l'émission stimulée d'ondes infrarouges, visibles ou ultraviolettes
10
Commande de l'intensité, de la fréquence, de la phase, de la polarisation ou de la direction du rayonnement, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation ou démodulation
Déposants :
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventeurs :
庭野 素己 NIWANO, Motoki; JP
Mandataire :
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
佐久間 剛 SAKUMA, Tsuyoshi; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) LASER DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) レーザ装置および極端紫外光生成装置
Abrégé :
(EN) [Problem] To provide a laser device comprising a plurality of optical shutters which are serially arranged in the optical path of laser light and which perform an opening/closing operation, wherein the timing of opening of each optical shutter is matched to the timing of entry of laser light. [Solution] A laser device comprises: a plurality of optical shutters (61, 62); a power supply device (303n) which generates a high voltage to be applied to the optical shutters (61, 62); high voltage-side wiring (63h) which connects the power supply device (303n) and the optical shutters (61, 62); ground-side wiring (63g) which connects the optical shutters (61, 62) to ground; and high voltage-side common wiring (64h) and ground-side common wiring (64g) which connect the plurality of optical shutters (61, 62) in parallel. One of the high voltage-side wiring (63h) and the ground-side wiring (63g) is connected to the optical shutter (61) disposed on the most upstream side in a laser light travel direction, and the other of the high voltage-side wiring (63h) and the ground-side wiring (63g) is connected to the optical shutter (62) disposed on the most downstream side in the laser light travel direction.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de produire un dispositif laser comprenant une pluralité d'obturateurs optiques qui sont agencés en série dans le trajet optique de la lumière laser et qui effectuent une opération d'ouverture/fermeture, le temps d'ouverture de chaque obturateur optique étant mis en concordance avec le temps d'entrée de la lumière laser. La solution selon l'invention concerne un dispositif laser qui comprend : une pluralité d'obturateurs optiques (61, 62); un dispositif d'alimentation électrique (303n) qui génère une haute tension à appliquer aux obturateurs optiques (61, 62); un câblage côté haute tension (63h) qui connecte le dispositif d'alimentation électrique (303n) et les obturateurs optiques (61, 62); un câblage côté masse (63g) qui connecte les obturateurs optiques (61, 62) à la masse; et un câblage commun côté haute tension (64h) et un câblage commun côté masse (64g) qui connectent la pluralité d'obturateurs optiques (61, 62) en parallèle. Le câblage côté haute tension (63h) et/ou le câblage côté masse (63g) est connecté à l'obturateur optique (61) disposé sur le côté le plus en amont dans une direction de déplacement de la lumière laser, et le câblage côté haute tension (63h) et/ou le câblage côté masse (63g) est connecté à l'obturateur optique (62) disposé sur le côté le plus en aval dans la direction de déplacement de la lumière laser.
(JA) 【課題】レーザ光の光路に直列配置されて開閉動作する複数の光シャッタを備えたレーザ装置において、各光シャッタが開くタイミングを、それぞれレーザ光の入射タイミングと合わせる。 【解決手段】レーザ装置は複数の光シャッタ(61、62)と、光シャッタ(61、62)に印加される高電圧を発生する電源装置(303n)と、電源装置(303n)と光シャッタ(61、62)とを接続する高圧側配線(63h)と、光シャッタ(61、62)を接地する接地側配線(63g)と、複数の光シャッタ(61、62)を並列に接続する高圧側共有配線(64h)および接地側共有配線(64g)とを含む。高圧側配線(63h)および接地側配線(63g)のいずれか一方は、レーザ光進行方向最も上流側に配された光シャッタ(61)に接続され、高圧側配線(63h)および接地側配線(63g)の他方は、レーザ光進行方向最も下流側に配された光シャッタ(62)に接続される。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)