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1. (WO2018092247) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR MESURER LA FORME D'UN ÉCHANTILLON
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N° de publication : WO/2018/092247 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/084154
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 17.11.2016
CIB :
G01B 11/24 (2006.01) ,G01B 11/26 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24
pour mesurer des contours ou des courbes
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
26
pour mesurer des angles ou des cônes; pour vérifier l'alignement des axes
Déposants :
オリンパス株式会社 OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 東京都八王子市石川町2951番地 2951, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928507, JP
Inventeurs :
大平まゆみ ODAIRA Mayumi; JP
鈴木良政 SUZUKI Yoshimasa; JP
Mandataire :
斎藤圭介 SAITO Keisuke; JP
平山巌 HIRAYAMA Iwao; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SPECIMEN SHAPE MEASUREMENT METHOD AND SPECIMEN SHAPE MEASUREMENT DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR MESURER LA FORME D'UN ÉCHANTILLON
(JA) 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
Abrégé :
(EN) A specimen shape measurement method and specimen shape measurement device are provided which can measure the inclination and shape of a specimen surface even if the specimen has a low surface reflectivity and a smooth surface shape. This specimen shape measurement method involves a step S10 for preparing illumination light to pass through a prescribed illumination area, a step S20 for irradiating the sample with the illumination light, and a prescribed processing step S30. The prescribed illumination region is set such that the optical axis is not included in the pupil position of the illumination optical system, and is configured such that, at the pupil position of the observation optical system, the illumination light is irradiated onto a portion inside of the pupil and to outside the pupil. The illumination light passes through the specimen and the light emitted from the specimen is incident on the observation optical system. The prescribed processing step S30 includes a step S31 for receiving light emitted from the observation optical system, a step S32 for calculating the light intensity of the received light, a step S33 for calculating the difference or ratio between the light intensity and a reference light intensity, and a step S34 for calculating the amount of inclination on the surface of the sample from said difference or ratio.
(FR) L'invention concerne un procédé et un dispositif pour mesurer la forme d'un échantillon permettant de mesurer l'inclinaison et la forme d'une surface de l'échantillon même si l'échantillon possède une faible réflectivité de surface et une surface lisse. Le procédé de mesure de la forme d'un échantillon comprend une étape (S10) de préparation d’une lumière d'éclairage qui passe à travers une région d'éclairage prescrite, une étape (S20) d’exposition de l’échantillon à la lumière d'éclairage et une étape de traitement prescrit (S30). La région d'éclairage prescrite est définie de telle sorte que l'axe optique ne soit pas contenu dans la position de pupille du système optique d'éclairage et est conçue de telle sorte que, à la position de pupille du système optique d'observation, la lumière d'éclairage soit projetée sur une partie à l'intérieur de la pupille et vers l'extérieur de la pupille. La lumière d'éclairage passe à travers l'échantillon et la lumière émise par l'échantillon est incidente sur le système optique d'observation. L'étape (S30) de traitement prescrit comprend une étape (S31) de réception de la lumière émise par le système optique d'observation, une étape (S32) de calcul de l'intensité de la lumière reçue, une étape (S33) de calcul de la différence ou du rapport entre l'intensité de la lumière et une intensité de lumière de référence et une étape (S34) de calcul de la quantité d'inclinaison de la surface de l'échantillon à partir de cette différence ou de ce rapport.
(JA) 表面の反射率が低く、表面形状が滑らかな標本であっても、標本面の傾きや形状を測定できる標本形状測定方法及び標本形状測定装置を提供する。 標本形状測定方法は、所定の照明領域を通過する照明光を準備するステップS10と、照明光を標本に照射するステップS20と、所定の処理ステップS30と、を有し、所定の照明領域は、照明光学系の瞳位置にて光軸を含まないように設定されると共に、照明光が観察光学系の瞳位置にて該瞳の内側の一部分と該瞳の外側に照射されるように設定され、照明光は標本を透過し、標本から出射した光は観察光学系に入射し、所定の処理ステップS30は、観察光学系から出射した光を受光するステップS31と、受光した光の光量を求めるステップS32と、光量と基準の光量との差又は比を算出するステップS33と、差又は比から、標本の表面における傾き量を算出するステップS34と、を有する。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)