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1. (WO2018092227) CHARIOT, SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE REMPLACEMENT DE DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE CIBLE
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N° de publication : WO/2018/092227 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/084029
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 17.11.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,G21K 5/08 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
21
PHYSIQUE NUCLÉAIRE; TECHNIQUE NUCLÉAIRE
K
TECHNIQUES NON PRÉVUES AILLEURS POUR MANIPULER DES PARTICULES OU DES RAYONNEMENTS IONISANTS; DISPOSITIFS D'IRRADIATION; MICROSCOPES À RAYONS GAMMA OU À RAYONS X
5
Dispositifs d'irradiation
08
Supports pour cibles ou pour objets à irradier
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
G
TECHNIQUE DES RAYONS X
2
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
Déposants : GIGAPHOTON INC.[JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventeurs : NISHISAKA, Toshihiro; JP
Mandataire : MATSUURA, Kenzo; Matsuura & Associates, P.O. Box 176, Shinjuku Sumitomo Bldg. 23F, 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630223, JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CARRIAGE FOR REPLACING TARGET GENERATION DEVICE, TARGET GENERATION DEVICE REPLACEMENT SYSTEM, AND METHOD FOR REPLACING TARGET GENERATION DEVICE
(FR) CHARIOT, SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE REMPLACEMENT DE DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE CIBLE
(JA) ターゲット生成装置交換用台車、ターゲット生成装置交換システム、及びターゲット生成装置交換方法
Abrégé :
(EN) A carriage for replacing a target generation device comprises: A. a linear movement mechanism that holds a target generation device for outputting a target substance and moves the target generation device linearly in the output direction of the target substance; B. a positioning part that positions the linear movement mechanism relative to a chamber attachment part to which the target generation device is attached; C. a drive part that drives the linear movement mechanism; and D. a stand that holds the linear movement mechanism. The positioning part is provided on the stand.
(FR) L'invention concerne un chariot destiné à remplacer un dispositif de génération de cible, qui comporte: A. un mécanisme de mouvement linéaire qui maintient un dispositif de génération de cible servant à délivrer une substance cible et déplace linéairement le dispositif de génération de cible dans la direction de sortie de la substance cible; B. une partie de positionnement qui positionne le mécanisme de mouvement linéaire par rapport à une partie de fixation de chambre à laquelle est fixé le dispositif de génération de cible; C. une partie d'entraînement qui entraîne le mécanisme de mouvement linéaire; et D. un support qui maintient le mécanisme de mouvement linéaire. La partie de positionnement est placée sur le support.
(JA) ターゲット生成装置交換用台車は、以下を備える:A.ターゲット物質を出力するターゲット生成装置を保持し、ターゲット物質の出力方向へ直線的に移動させる直線移動機構;及び、B.直線移動機構を、ターゲット生成装置が装着されるチャンバの装着部に対して位置決めする位置決め部。ターゲット生成装置交換用台車は、さらに以下を備える:C.直線移動機構を駆動する駆動部。ターゲット生成装置交換用台車は、さらに以下を備える:D.直線移動機構を保持する架台。ここで、位置決め部は、架台に設けられている。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)