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1. (WO2018091699) STRUCTURE DE GRILLE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2018/091699    International Application No.:    PCT/EP2017/079707
Publication Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 21 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 29/423
H01L 21/285
Applicants: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN E.V.
Inventors: OSIPOV, Konstantin
LOSSY, Richard
WÜRFL, Hans-Joachim
Title: STRUCTURE DE GRILLE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
La présente invention concerne une structure de grille ainsi que son procédé de fabrication. La présente invention concerne en particulier la réalisation d’une structure de grille d’un transistor à effet de champ à charge thermomécanique réduite et à fiabilité accrue (électromigration ou diffusion réduites du métal de grille). La structure de grille selon l’invention comprend un substrat (10) ; une couche active (20) qui est disposée sur le substrat (10) ; une couche intermédiaire (40) qui est disposée sur la couche active (20), la couche intermédiaire (40) comportant une cavité (45) qui s’étend à travers toute la couche intermédiaire (40) en direction de la couche active (20) ; et un élément de contact (50) qui est disposé à l’intérieur de la cavité (45), l’élément de contact (50) remplissant complètement la cavité (45) s’étendant jusqu’au-dessus de la couche intermédiaire (40), l’élément de contact (50) étant situé au moins partiellement directement sur la couche intermédiaire (40) ; l’élément de contact (50) étant constitué d’un métal Schottky (52) et l’élément de contact (50) comportant à l’intérieur un espace creux (55) complètement entouré par le métal Schottky (52).