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1. (WO2018090618) APPAREIL DE TRANSMISSION DE MICRO-ONDES ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2018/090618    International Application No.:    PCT/CN2017/088979
Publication Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jun 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/32
H01L 21/67
Applicants: BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.
北京北方华创微电子装备有限公司
Inventors: LIU, Chunming
刘春明
Title: APPAREIL DE TRANSMISSION DE MICRO-ONDES ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
L’invention concerne un appareil de transmission de micro-ondes et un dispositif de traitement de semi-conducteurs, l’appareil comprenant un guide d’ondes (1) et une structure d’appariement d’impédance (2) agencée dans le guide d’ondes (1). Le guide d’ondes (1) sert à transmettre à une charge une micro-onde émise par une source de micro-ondes. La structure d’appariement d’impédance (2) comprend un condensateur interdigité à microrubans (21), et règle une capacité d’équivalence formée par le condensateur interdigité à microrubans (21) et/ou la position du condensateur interdigité à microrubans (21) dans une direction d’extension du guide d’ondes (1), de sorte qu’une impédance avant une extrémité d’entrée de la structure d’appariement d’impédance (2) soit appariée à une impédance après l’extrémité d'entrée de la structure d’appariement d’impédance (2). La plage de réglage d’une impédance de la structure d’appariement d’impédance (2) est supérieure, de sorte que la plage d’une fréquence de fonctionnement applicable à l’appareil de transmission de micro-ondes et une scène applicable peuvent être étendues.