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1. (WO2018090618) APPAREIL DE TRANSMISSION DE MICRO-ONDES ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
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N° de publication : WO/2018/090618 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/088979
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 19.06.2017
CIB :
H01J 37/32 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.[CN/CN]; No. 8 Wenchang Avenue Beijing Economic-Technological Development Area Beijing 100176, CN
Inventeurs : LIU, Chunming; CN
Mandataire : TEE & HOWE INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; Tianshu ZHANG 10th Floor, Tower D, Minsheng Financial Center, 28 Jianguomennei Avenue, Dongcheng District Beijing 100005, CN
Données relatives à la priorité :
201611013118.315.11.2016CN
Titre (EN) MICROWAVE TRANSMISSION APPARATUS AND SEMICONDUCTOR PROCESSING DEVICE
(FR) APPAREIL DE TRANSMISSION DE MICRO-ONDES ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
(ZH) 一种微波传输装置和半导体处理设备
Abrégé : front page image
(EN) Disclosed are a microwave transmission apparatus and a semiconductor processing device, the apparatus comprising a waveguide (1) and an impedance matching structure (2) arranged in the waveguide (1). The waveguide (1) is used for transmitting a microwave emitted by a microwave source to a load. The impedance matching structure (2) comprises a micro-strip interdigital capacitor (21), and adjusts an equivalent capacitance formed by the micro-strip interdigital capacitor (21) and/or the position of the micro-strip interdigital capacitor (21) in an extension direction of the waveguide (1), so that an impedance before an input end of the impedance matching structure (2) matches an impedance after the input end of the impedance matching structure (2). The adjustment range of an impedance of the impedance matching structure (2) is greater, so that the range of an operating frequency applicable to the microwave transmission apparatus and an applicable scene can be expanded.
(FR) L’invention concerne un appareil de transmission de micro-ondes et un dispositif de traitement de semi-conducteurs, l’appareil comprenant un guide d’ondes (1) et une structure d’appariement d’impédance (2) agencée dans le guide d’ondes (1). Le guide d’ondes (1) sert à transmettre à une charge une micro-onde émise par une source de micro-ondes. La structure d’appariement d’impédance (2) comprend un condensateur interdigité à microrubans (21), et règle une capacité d’équivalence formée par le condensateur interdigité à microrubans (21) et/ou la position du condensateur interdigité à microrubans (21) dans une direction d’extension du guide d’ondes (1), de sorte qu’une impédance avant une extrémité d’entrée de la structure d’appariement d’impédance (2) soit appariée à une impédance après l’extrémité d'entrée de la structure d’appariement d’impédance (2). La plage de réglage d’une impédance de la structure d’appariement d’impédance (2) est supérieure, de sorte que la plage d’une fréquence de fonctionnement applicable à l’appareil de transmission de micro-ondes et une scène applicable peuvent être étendues.
(ZH) 一种微波传输装置和半导体处理设备,其包括波导(1)和设置在波导(1)内的阻抗匹配结构(2),波导(1)用于将微波源发出的微波传输至负载;阻抗匹配结构(2)包括微带交指电容(21),通过调节微带交指电容(21)形成的等效电容和/或微带交指电容(21)在波导(1)的延伸方向上的位置,来实现阻抗匹配结构(2)的输入端之前的阻抗与阻抗匹配结构(2)的输入端之后的阻抗相匹配。所述阻抗匹配结构(2)的阻抗调节范围更大,从而可以扩大微波传输装置适用的工作频率范围和适用场景。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)