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1. (WO2018090574) APPAREIL DE TRANSPORT DE TRANCHES, CHAMBRE DE TRAITEMENT, BRAS MÉCANIQUE, APPAREIL À SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE TRANCHES
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N° de publication : WO/2018/090574 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/083042
Date de publication : 24.05.2018 Date de dépôt international : 04.05.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
[IPC code unknown for H01L 21/677]
Déposants :
北京北方华创微电子装备有限公司 BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 北京经济技术开发区文昌大道8号 No. 8 Wenchang Avenue Beijing Economic-Technological Development Area Beijing 100176, CN
Inventeurs :
邓玉春 DENG, Yuchun; CN
Mandataire :
北京天昊联合知识产权代理有限公司 TEE & HOWE INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; 中国北京市 东城区建国门内大街28号民生金融中心D座10层张天舒 Tianshu ZHANG 10th Floor, Tower D, Minsheng Financial Center, 28 Jianguomennei Avenue, Dongcheng District Beijing 100005, CN
Données relatives à la priorité :
201611044058.121.11.2016CN
Titre (EN) WAFER TRANSPORTING APPARATUS, PROCESSING CHAMBER, MECHANICAL ARM, SEMICONDUCTOR APPARATUS, AND WAFER TRANSPORTING METHOD
(FR) APPAREIL DE TRANSPORT DE TRANCHES, CHAMBRE DE TRAITEMENT, BRAS MÉCANIQUE, APPAREIL À SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE TRANCHES
(ZH) 传片装置、工艺腔室、机械手、半导体装置和传片方法
Abrégé :
(EN) Provided are a wafer transporting apparatus, a processing chamber, a mechanical arm, a semiconductor apparatus, and a wafer transporting method. The wafer transporting apparatus comprises: a plurality of wafer carriers (201, 202) arranged in sequence along the horizontal direction; and a lifting mechanism (500), used for driving the plurality of wafer carriers to synchronously perform a lifting movement, in order to jointly perform wafer pick-up and placement operations with a mechanical arm (600) capable of transporting a plurality of wafers. By means of the arrangement of the plurality of wafer carriers and the use of the lifting mechanism to drive the plurality of wafer carriers to perform a synchronous lifting movement, the present wafer transporting apparatus can be used jointly with a mechanical arm capable of transporting a plurality of wafers in order to perform simultaneous wafer placement and wafer pick-up operations on the plurality of wafers, thereby improving the efficiency of wafer delivery and shortening the wafer transporting time, and thus increasing device production capacity.
(FR) L'invention concerne un appareil de transport de tranches, une chambre de traitement, un bras mécanique, un appareil à semi-conducteur et un procédé de transport de tranches. L'appareil de transport de tranches comprend : une pluralité de supports de tranches (201, 202) disposés en séquence le long de la direction horizontale ; et un mécanisme de levage (500), utilisé pour entraîner la pluralité de supports de tranches à effectuer de manière synchrone un mouvement de levage, afin d'effectuer conjointement des opérations de ramassage et de placement de tranches avec un bras mécanique (600) capable de transporter une pluralité de tranches. Au moyen de l'agencement de la pluralité de supports de tranches et de l'utilisation du mécanisme de levage pour entraîner la pluralité de supports de tranches pour effectuer un mouvement de levage synchrone, le présent appareil de transport de tranches peut être utilisé conjointement avec un bras mécanique capable de transporter une pluralité de tranches afin d'effectuer des opérations simultanées de placement de tranches et de ramassage de tranches parmi la pluralité de tranches, ce qui permet d'améliorer l'efficacité de distribution de tranches et de raccourcir le temps de transport de tranches, et donc d'augmenter la capacité de production de dispositif.
(ZH) 提供一种传片装置、工艺腔室、机械手、半导体装置和传片方法。传片装置包括:多个晶片托架(201,202),沿水平方向依次排列;升降机构(500),用于驱动多个晶片托架同步作升降运动,以与能够传输多个晶片的机械手(600)相配合进行取放片操作。传片装置通过设置多个晶片托架,并使用升降机构驱动多个晶片托架同步作升降运动,可以与能够传输多个晶片的机械手配合使用,实现多个晶片同时进行放片和取片操作,从而可以提高晶片传递效率,缩短传片时间,进而可以提高设备产能。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)