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1. (WO2018089776) PROCÉDÉ DE CENTRAGE D'ANNEAU DE BORD À L'AIDE DE DONNÉES D'ALIGNEMENT DYNAMIQUE D'ANNEAU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/089776    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/061080
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 10.11.2017
CIB :
H01L 21/687 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, California 94538 (US)
Inventeurs : TAN, Ali Sucipto; (US).
YAN, Haoquan; (US).
ESTOQUE, Marc; (US).
GENETTI, Damon Tyrone; (US).
MCCHESNEY, Jon; (US).
PATERSON, Alexander Miller; (US)
Mandataire : WIGGINS, Michael D.; (US).
AMBROSE, John; (US).
AQUINO, Damian; (US).
BERBERICH, Jeanette M.; (US).
BRENNAN, Michael P.; (US).
BRITT, Nancy K.; (US).
BROCK, Christopher M.; (US).
CASTELLANO, John A., III; (US).
CAUBLE, Christopher M.; (US).
CHANG, Alex C.; (US).
CHAPP, Jeffrey J.; (US).
CHO, David J.; (US).
CUTLER, Matthew L.; (US).
DALEY, Donald J.; (US).
DEAVER, Darin W.; (US).
DELASSUS, Gregory S.; (US).
DOERR, Michael P.; (US).
DOWDY, Stephanie L.; (US).
DRYSDALE, Nicholas S.; (US).
ELCHUK, Mark D.; (US).
ERJAVAC, Stanley M.; (US).
EUSEBI, Christopher A.; (US).
FALCOFF, Monte L.; (US).
FITZPATRICK, John; (US).
FORBIS, Glenn E.; (US).
FOSS, Stephen J.; (US).
FRANKLIN, Clarence C.; (US).
FRENTRUP, Mark A.; (US).
FULLER, Roland, III; (US).
FUSSNER, Anthony G.; (US).
GAMBLE, Michael D.; (US).
HEIST, Jason A.; (US).
HILTON, Michael E.; (US).
HOFFMAN, Erin G.; (US).
HOUSTON, Robert W.; (US).
HOYT, Blair M.; (US).
JENLINK, Ryan D.; (US).
KELLER, Paul A.; (US).
KESKAR, Hemant; (US).
KIM, Paul M.; (US).
KIM, Sung Pil; (US).
KORAL, Elisabeth; (US).
KOTSIS, Damian; (US).
KOZU, Kiyoshi; (US).
LAFATA, Joseph M.; (US).
LEE, Kisuk; (US).
LUCHSINGER, J. Bradley; (US).
MACINTYRE, Timothy D.; (US).
MALINZAK, Michael; (US).
MANNING, Daisy; (US).
MARTIN, Timothy J.; (US).
MASSEY, Ryan W.; (US).
MEYER, Greg; (US).
MIERZWA, Kevin; (US).
MILLER, Christopher K.; (US).
MILLER, Keith H.; (US).
MOUSTAKAS, George D.; (US).
NABI, Tarik M.; (US).
NYE, Michael; (US).
ODELL, Elizabeth D.; (US).
OLSON, Stephen T.; (US).
PANKA, Brian G.; (US).
PHIPPS, Michael J.; (US).
RAKERS, Leanne; (US).
RICHMOND, Derek; (US).
ROBINSON, Douglas A.; (US).
SCHIANO, Thomas E.; (US).
SCHIVLEY, Gregory G.; (US).
SCHMIDT, Michael J.; (US).
SEITZ, Brent G.; (US).
SIMINSKI, Robert M.; (US).
SMITH, Corey E.; (US).
SMITH, Michael L.; (US).
SNYDER, Jeffrey L.; (US).
STOBBS, Gregory A.; (US).
SUTER, David L.; (US).
TAYLOR, Michael L.; (US).
TAYLOR, W. R. Duke; (US).
TEICH, Michael L.; (US).
TELSCHER, JR., Rudolph A.; (US).
THOMAS, Michael J.; (US).
TUCKER, David J., Jr.; (US).
UTYKANSKI, David P.; (US).
VARCO, Michael A.; (US).
WADE, Bryant E.; (US).
WALKER, Donald G.; (US).
WALSH, JR., Joseph E.; (US).
WANGEROW, Steven; (US).
WARNER, Richard W.; (US).
WAXMAN, Andrew M.; (US).
WELCH, Gerald T.; (US).
WHEELOCK, Bryan K.; (US).
WOODSIDE, Jennifer; (US).
YACURA, Gary D.; (US).
ZALOBSKY, Michael D.; (US).
ZAREK, Paul; (US)
Données relatives à la priorité :
62/421,569 14.11.2016 US
15/799,011 31.10.2017 US
Titre (EN) EDGE RING CENTERING METHOD USING RING DYNAMIC ALIGNMENT DATA
(FR) PROCÉDÉ DE CENTRAGE D'ANNEAU DE BORD À L'AIDE DE DONNÉES D'ALIGNEMENT DYNAMIQUE D'ANNEAU
Abrégé : front page image
(EN)A system for determining an alignment of an edge ring on a substrate support includes a robot control module configured to control a robot to place the edge ring onto the substrate support and retrieve the edge ring from the substrate support. An alignment module is configured to determine a plurality of first positions of the edge ring on the robot prior to being placed onto the substrate support and determine a plurality of second positions of the edge ring on the robot subsequent to being retrieved from the substrate support. An edge ring position module configured to determine a centered position of the edge ring relative to the substrate support based on offsets between the plurality of first positions and the plurality of second positions.
(FR)La présente invention concerne un système qui permet de déterminer l'alignement d'un anneau de bord sur un support de substrat et qui comprend un module de commande de robot configuré de sorte à commander à un robot de placer l'anneau de bord sur le support de substrat et à retirer ledit anneau du support de substrat. Un module d'alignement est configuré de sorte à déterminer une pluralité de premières positions de l'anneau de bord sur le robot avant d'être placé sur le support de substrat et à déterminer une pluralité de secondes positions de l'anneau de bord sur le robot après avoir été retiré du support de substrat. Un module de position d'anneau de bord est configuré de sorte à déterminer une position centrée de l'anneau de bord par rapport au support de substrat sur la base de décalages entre la pluralité de premières positions et la pluralité de secondes positions.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)