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1. (WO2018089711) APPAREIL, SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE PORT DE CHARGE DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2018/089711    International Application No.:    PCT/US2017/060966
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 10 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/677
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: BONECUTTER, Luke W.
Title: APPAREIL, SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE PORT DE CHARGE DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
Abstract:
L'invention concerne un système de fabrication de dispositif électronique comprenant une interface d'usine qui a un port de charge. Le port de charge peut comprendre un panneau ayant une surface arrière. La surface arrière peut avoir une rainure s'étendant le long d'une partie externe du panneau. La rainure peut comprendre une région de col et une région de base évasée. La région de col peut avoir une section transversale rectangulaire qui s'étend jusqu'à une région de base évasée. Un joint d'étanchéité d'ampoule ou un joint d'étanchéité de forme rectangulaire peut être logé dans la rainure et peut être configuré pour sceller une interface entre le port de charge et l'interface d'usine. L'invention concerne également des procédés d'assemblage d'une interface d'usine pour un système de fabrication de dispositif électronique, ainsi que d'autres aspects.