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1. (WO2018089701) SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR UN FOND DE PANIER DE PORT DE CHARGE AMÉLIORÉ

Pub. No.:    WO/2018/089701    International Application No.:    PCT/US2017/060952
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 10 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/677
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: REUTER, Paul, B.
BAUMGARTEN, Douglas, B.
Title: SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR UN FOND DE PANIER DE PORT DE CHARGE AMÉLIORÉ
Abstract:
La présente invention porte, dans des modes de réalisation, sur des systèmes, sur un appareil et sur des procédés pour un port de charge amélioré qui comprend un ensemble fond de panier supportant un plateau d'accueil et un dispositif d'ouverture de support de substrat, l'ensemble fond de panier comprenant un fond de panier, un bloc de nivellement pouvant être couplé à un module d'extrémité avant d'équipement (EFEM pour Equipment Front End Module), un ensemble de réglage de trou conique couplé entre le bloc de nivellement et le fond de panier et un ensemble de réglage de trou fendu couplé entre le bloc de nivellement et le fond de panier. L'ensemble de réglage de trou conique comprend un bloc de trou conique couplé au bloc de nivellement au niveau d'une première extrémité ; un bloc fileté couplé au fond de panier et un boulon de réglage couplé au bloc de trou conique et au bloc fileté. De nombreux aspects supplémentaires sont décrits.