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1. (WO2018089698) SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS DESTINÉS À UN PORT DE CHARGE AMÉLIORÉ

Pub. No.:    WO/2018/089698    International Application No.:    PCT/US2017/060949
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 10 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/677
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: BONECUTTER, Luke W.
BLAHNIK, David T.
REUTER, Paul B.
Title: SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS DESTINÉS À UN PORT DE CHARGE AMÉLIORÉ
Abstract:
Des modes de réalisation concernent des systèmes, un appareil et des procédés pour un port de charge amélioré qui comprend un cadre supportant une station d'accueil et un dispositif d'ouverture de support; un ascenseur ayant pour fonction de lever et d'abaisser le dispositif d'ouverture de support; un compartiment d'isolation à l'intérieur duquel l'ascenseur a pour fonction de se déplacer, le compartiment d'isolation comprenant un volume isolé à partir d'un volume d'un module frontal d'équipement (EFEM); et une alimentation de purge à l'intérieur du compartiment d'isolation ayant pour fonction de purger le compartiment d'isolation du gaz réactif piégé à l'intérieur du compartiment d'isolation. De nombreux aspects supplémentaires sont décrits.