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1. (WO2018089698) SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS DESTINÉS À UN PORT DE CHARGE AMÉLIORÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/089698 N° de la demande internationale : PCT/US2017/060949
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 09.11.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : BONECUTTER, Luke W.; US
BLAHNIK, David T.; US
REUTER, Paul B.; US
Mandataire : DUGAN, Brian M.; US
DUGAN, Valerie G.; US
WAYLAND, Randall S.; US
TUMA, Garry J.; US
TOSTADO, Paula; US
WILSON, James C.; US
GHEORGHIU, Anca; US
KWONG, Raymond Kam-on; US
DAO, Mimi-Diemmy; US
CHOI, Changhoon; US
FABER, Scott; US
HWANG, David; US
MIZUMOTO, Edmund; US
BALUN, Matthew; US
Données relatives à la priorité :
15/348,96710.11.2016US
Titre (EN) SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS FOR AN IMPROVED LOAD PORT
(FR) SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS DESTINÉS À UN PORT DE CHARGE AMÉLIORÉ
Abrégé : front page image
(EN) Embodiments provide systems, apparatus, and methods for an improved load port that includes a frame supporting a dock and a carrier opener; an elevator operable to raise and lower the carrier opener; an isolation compartment within which the elevator is operable to move, the isolation compartment including a volume isolated from a volume of an equipment front end module (EFEM); and a purge supply within the isolation compartment operable to purge the isolation compartment of reactive gas trapped within the isolation compartment. Numerous additional aspects are disclosed.
(FR) Des modes de réalisation concernent des systèmes, un appareil et des procédés pour un port de charge amélioré qui comprend un cadre supportant une station d'accueil et un dispositif d'ouverture de support; un ascenseur ayant pour fonction de lever et d'abaisser le dispositif d'ouverture de support; un compartiment d'isolation à l'intérieur duquel l'ascenseur a pour fonction de se déplacer, le compartiment d'isolation comprenant un volume isolé à partir d'un volume d'un module frontal d'équipement (EFEM); et une alimentation de purge à l'intérieur du compartiment d'isolation ayant pour fonction de purger le compartiment d'isolation du gaz réactif piégé à l'intérieur du compartiment d'isolation. De nombreux aspects supplémentaires sont décrits.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)