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1. (WO2018089587) PROCÉDÉ DE GRAVURE CYCLIQUE AUTO-LIMITANT DESTINÉ À DES FILMS À BASE DE CARBONE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/089587    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/060782
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 09.11.2017
CIB :
B08B 9/00 (2006.01), C23C 16/00 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo, 107-6325 (JP).
LANE, Barton, G. [US/US]; (US) (US only).
EIBAGI, Nasim [US/US]; (US) (US only).
RANJAN, Alok [US/US]; (US) (US only).
VENTZEK, Peter, L.G. [US/US]; (US) (US only)
Inventeurs : LANE, Barton, G.; (US).
EIBAGI, Nasim; (US).
RANJAN, Alok; (US).
VENTZEK, Peter, L.G.; (US)
Mandataire : GARLEPP, Edwin, D.; (US).
MASON, J., Derek; (US)
Données relatives à la priorité :
62/419,844 09.11.2016 US
Titre (EN) SELF-LIMITING CYCLIC ETCH METHOD FOR CARBON-BASED FILMS
(FR) PROCÉDÉ DE GRAVURE CYCLIQUE AUTO-LIMITANT DESTINÉ À DES FILMS À BASE DE CARBONE
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the disclosure describe a cyclic etch method for carbon-based films. According to one embodiment, the method includes providing a substrate containing the carbon-based film, exposing the carbon-based film to an oxidizing plasma thereby forming an oxidized layer on the carbon-based film, thereafter, exposing the oxidized layer to a non- oxidizing inert gas plasma thereby removing the oxidized layer and forming a carbonized surface layer on the carbon-based film, and repeating the exposing steps at least once.
(FR)Selon des modes de réalisation, la présente invention concerne un procédé de gravure cyclique destiné à des films à base de carbone. Selon un mode de réalisation, le procédé consiste à produire un substrat comportant le film à base de carbone, à exposer le film à base de carbone à un plasma oxydant, ce qui permet de former une couche oxydée sur le film à base de carbone, puis à exposer la couche oxydée à un plasma de gaz inerte non oxydant, ce qui permet d'éliminer la couche oxydée et de former une couche de surface carbonisée sur le film à base de carbone, et à répéter les étapes d'exposition au moins une fois.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)