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1. (WO2018089502) PROCÉDÉ, SYSTÈME ET DISPOSITIF POUR LA DISTRIBUTION DE GAZ DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2018/089502    International Application No.:    PCT/US2017/060650
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 09 00:59:59 CET 2017
IPC: B01D 19/00
B01D 63/00
B01D 63/06
Applicants: RASIRC, INC.
Inventors: ALVAREZ, Daniel
HOLMES, Russell
SPIEGELMAN, Jeffrey
HEINLEIN, Edward
RAMOS, Christopher
TRAMMEL, Jeremiah
Title: PROCÉDÉ, SYSTÈME ET DISPOSITIF POUR LA DISTRIBUTION DE GAZ DE TRAITEMENT
Abstract:
L'invention concerne un procédé et un dispositif et système de distribution de produit chimique. Un procédé comprend la mise en contact d'une solution non aqueuse d'hydrazine avec un gaz vecteur et/ou du vide et la distribution d'un flux de gaz sensiblement sec comprenant de l'hydrazine vers un processus ou une application critique. L'invention concerne également des procédés de formation de films minces contenant de l'azote par dépôt de couche atomique à l'aide d'hydrazine gazeux à partir d'une solution d'hydrazine non aqueuse.