WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2018089502) PROCÉDÉ, SYSTÈME ET DISPOSITIF POUR LA DISTRIBUTION DE GAZ DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/089502 N° de la demande internationale : PCT/US2017/060650
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 08.11.2017
CIB :
B01D 19/00 (2006.01) ,B01D 63/00 (2006.01) ,B01D 63/06 (2006.01)
Déposants : RASIRC, INC.[US/US]; 7815 Silverton Avenue San Diego, CA 92126, US
Inventeurs : ALVAREZ, Daniel; US
HOLMES, Russell; US
SPIEGELMAN, Jeffrey; US
HEINLEIN, Edward; US
RAMOS, Christopher; US
TRAMMEL, Jeremiah; US
Mandataire : NOVOM, Antony; US
WAGENKNECHT, Raymond; US
Données relatives à la priorité :
62/419,02908.11.2016US
62/428,85901.12.2016US
62/447,42517.01.2017US
Titre (EN) METHOD, SYSTEM AND DEVICE FOR DELIVERY OF PROCESS GAS
(FR) PROCÉDÉ, SYSTÈME ET DISPOSITIF POUR LA DISTRIBUTION DE GAZ DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN) A method and chemical delivery system and device are provided. One method useful in the present invention includes contacting a non-aqueous hydrazine solution with a carrier gas and/or vacuum and delivering a substantially dry gas stream comprising hydrazine to a critical process or application. Also disclosed herein are methods of forming nitrogen-containing thin films by atomic layer deposition using hydrazine gas from a non-aqueous hydrazine solution.
(FR) L'invention concerne un procédé et un dispositif et système de distribution de produit chimique. Un procédé comprend la mise en contact d'une solution non aqueuse d'hydrazine avec un gaz vecteur et/ou du vide et la distribution d'un flux de gaz sensiblement sec comprenant de l'hydrazine vers un processus ou une application critique. L'invention concerne également des procédés de formation de films minces contenant de l'azote par dépôt de couche atomique à l'aide d'hydrazine gazeux à partir d'une solution d'hydrazine non aqueuse.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)