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1. (WO2018089487) ÉLIMINATION DE L'HUMIDITÉ DANS L'HYDRAZINE

Pub. No.:    WO/2018/089487    International Application No.:    PCT/US2017/060629
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 09 00:59:59 CET 2017
IPC: B01D 53/02
B01D 53/26
Applicants: MATHESON TRI-GAS, INC.
Inventors: SHIMIZU, Hideharu
RAYNOR, Mark, W.
TEMPEL, Daniel, J.
GARDINER, Robin
ALVAREZ, JR., Daniel
Title: ÉLIMINATION DE L'HUMIDITÉ DANS L'HYDRAZINE
Abstract:
La présente invention se rapporte de manière générale au domaine de la dessication en phase liquide et gazeuse. En particulier, la présente invention concerne des procédés d'élimination de l'humidité (et donc de précurseurs d'oxygène) dans l'hydrazine, permettant de fournir ainsi un gaz source de haute pureté destiné à être utilisé dans des procédés de dépôt en phase vapeur, tels que, entre autres, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou un dépôt de couche atomique (ALD)