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1. (WO2018089428) MANDRIN À LÉVITATION MAGNÉTIQUE ET ROTATION POUR LE TRAITEMENT DE SUBSTRATS MICRO-ÉLECTRONIQUES DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2018/089428    International Application No.:    PCT/US2017/060543
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 09 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/687
H01L 21/683
H01L 21/67
H01L 21/02
Applicants: TEL FSI, INC.
Inventors: INHOFER, William P.
MOORE, Sean
VAN ELSEN, Lance
Title: MANDRIN À LÉVITATION MAGNÉTIQUE ET ROTATION POUR LE TRAITEMENT DE SUBSTRATS MICRO-ÉLECTRONIQUES DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abstract:
La présente invention concerne des systèmes et des procédés de nettoyage pour la fabrication de semi-conducteurs, lesdits systèmes et procédés utilisant des ensembles mandrins rotatifs et facultativement mobiles qui incorporent une lévitation magnétique et une fonctionnalité de rotation pour provoquer la rotation du mandrin. Les composants de mandrin rotatifs ne viennent pas physiquement en contact avec d'autres composants de mandrin lors de la lévitation et de la rotation. Ceci élimine des composants correspondants dont le frottement ou des lubrifiants peuvent générer une contamination. La fonctionnalité de mandrin à faible frottement de la présente invention est utile dans tout outil de fabrication dans lequel une pièce à travailler est supportée sur un support rotatif pendant un traitement. Le mandrin est particulièrement utile dans des traitements de nettoyage cryogéniques. En évitant l'utilisation de lubrifiants pour cette interface rotative, des chambres de traitement peuvent être évacuées et/ou ventilées jusqu'à des pressions plus élevées et de manière beaucoup plus rapide. Ceci réduit de manière significative le temps de cycle pour des traitements cryogéniques.