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1. (WO2018089180) SUPPRESSION D'ALLUMAGE AU PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/089180    International Application No.:    PCT/US2017/057454
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Oct 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/683
H01L 21/67
H01J 37/32
H01L 21/02
H01L 21/3065
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION
Inventors: NI, Pavel
Title: SUPPRESSION D'ALLUMAGE AU PLASMA
Abstract:
L'invention concerne un procédé de suppression d'arcs dans des canaux de distribution d'hélium d'un support individuel de tranche électrostatique dans une chambre de traitement au plasma, le support individuel de tranche électrostatique étant connecté à une source de tension pour fournir une tension de serrage et la chambre de traitement au plasma comprenant une source de gaz de traitement, et une alimentation électrique de plasma pour transformer le gaz de traitement en un plasma. Un gaz s'écoule à travers les canaux de distribution d'hélium d'un support individuel de tranche électrostatique vers un côté arrière d'une tranche. Le gaz comprend de l'hélium et un gaz électronégatif.