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1. (WO2018089161) DÉTECTION DE DÉFAUT DE MATÉRIEL DE CHAMBRE DE TRAITEMENT À L'AIDE D'UNE ANALYSE DE RADIOFRÉQUENCE SPECTRALE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/089161 N° de la demande internationale : PCT/US2017/056200
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 11.10.2017
CIB :
H01L 21/02 (2006.01) ,H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : GHANTASALA, Sathyendra K.; US
VENUGOPAL, Vijayakumar C.; US
DOH, Hyun-Ho; US
Mandataire : BERNADICOU, Michael A.; US
BRASK, Justin K.; US
Données relatives à la priorité :
15/349,13911.11.2016US
Titre (EN) PROCESSING CHAMBER HARDWARE FAULT DETECTION USING SPECTRAL RADIO FREQUENCY ANALYSIS
(FR) DÉTECTION DE DÉFAUT DE MATÉRIEL DE CHAMBRE DE TRAITEMENT À L'AIDE D'UNE ANALYSE DE RADIOFRÉQUENCE SPECTRALE
Abrégé : front page image
(EN) A method of assigning faults to a processing chamber is described. Some embodiments include applying a radio frequency (RF) signal to a processing chamber to stimulate resonance in the chamber, measuring resonances of the applied RF signal in the chamber, extracting a fingerprint from the measured resonances, comparing the extracted fingerprint to a library of fingerprints, assigning a similarity index to combinations of the extracted fingerprint with at least one fingerprint in the fingerprint library, comparing each similarity index to a threshold, and if the similarity is greater than a threshold, then assigning a fault to the processing chamber using the library fingerprint.
(FR) L'invention concerne un procédé d'attribution de défauts à une chambre de traitement. Certains modes de réalisation consistent à appliquer un signal radiofréquence (RF) à une chambre de traitement pour stimuler la résonance dans la chambre, à mesurer les résonances du signal RF appliqué dans la chambre, à extraire une empreinte à partir des résonances mesurées, à comparer l'empreinte extraite à une bibliothèque d'empreintes digitales, à attribuer un indice de similarité à des combinaisons de l'empreinte digitale extraite avec au moins une empreinte digitale dans la bibliothèque d'empreintes digitales, à comparer chaque indice de similarité à un seuil, et si la similarité est supérieure à un seuil, à attribuer un défaut à la chambre de traitement à l'aide de l'empreinte digitale de la bibliothèque.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)