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1. (WO2018088326) DISPOSITIF VANNE, PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE DÉBIT UTILISANT LEDIT DISPOSITIF VANNE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/088326    International Application No.:    PCT/JP2017/039729
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 03 00:59:59 CET 2017
IPC: F16K 31/02
F16K 31/122
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED
株式会社フジキン
Inventors: YOSHIDA Toshihide
吉田 俊英
NAKATA Tomohiro
中田 知宏
SHINOHARA Tsutomu
篠原 努
INADA Toshiyuki
稲田 敏之
FUNAKOSHI Takashi
船越 高志
Title: DISPOSITIF VANNE, PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE DÉBIT UTILISANT LEDIT DISPOSITIF VANNE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif vanne permettant de réduire fortement les heures nécessaires à une personne pour régler un débit. La solution selon la présente invention fait appel à : un corps de vanne 10 qui délimite un trajet d'écoulement 12 ; un élément vanne 20 disposé de manière à pouvoir ouvrir et fermer le trajet d'écoulement 12 du corps de vanne ; un élément de mise en œuvre 40 qui met en œuvre l'élément vanne dans des sens d'ouverture et de fermeture A1, A2 dans lesquels l'élément vanne 20 est amené à ouvrir ou à fermer le trajet d'écoulement 12, l'élément de mise en œuvre étant disposé de façon à pouvoir se déplacer entre une position fermée CP au niveau de laquelle l'élément vanne 20 ferme le trajet d'écoulement et une position d'ouverture OP au niveau de laquelle l'élément vanne 20 ouvre le trajet d'écoulement 12, lesdites positions étant définies à l'avance ; un actionneur principal 60 destiné à amener l'élément de mise en œuvre 40 à se déplacer dans le sens d'ouverture A1 ; et un actionneur piézoélectrique 100 destiné à régler une position de l'élément de mise en œuvre 40 positionné au niveau de la position d'ouverture OP.