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1. (WO2018088091) DISPOSITIF DE LIAISON, SYSTÈME DE LIAISON, PROCÉDÉ DE LIAISON, ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT POUR ORDINATEUR

Pub. No.:    WO/2018/088091    International Application No.:    PCT/JP2017/036657
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 11 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/02
B23K 20/00
H01L 21/683
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: NAKAMITSU, Takashi
中満 孝志
MATSUMOTO, Shuhei
松本 宗兵
INAMASU, Toshifumi
稲益 寿史
Title: DISPOSITIF DE LIAISON, SYSTÈME DE LIAISON, PROCÉDÉ DE LIAISON, ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT POUR ORDINATEUR
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de liaison, qui lie des substrats les uns aux autres, comprenant : une première partie de maintien qui, sur sa surface inférieure, applique une aspiration à un premier substrat, maintenant ainsi le substrat au moyen du vide; une seconde partie de maintien qui est disposée en-dessous de la première partie de maintien, et qui, sur sa surface supérieure, applique un vide à un second substrat, maintenant ainsi le substrat au moyen du vide; un mécanisme de rotation qui fait tourner la première partie de maintien et la seconde partie de maintien l'une par rapport à l'autre; un mécanisme de déplacement qui déplace la première partie de maintien et la seconde partie l'une par rapport à l'autre dans la direction horizontale; trois unités de mesure de position qui sont disposées sur la première partie de maintien ou la seconde partie de maintien qui sont mises en rotation par le mécanisme de rotation, et qui mesurent la position de la première partie de maintien et de la seconde partie de maintien; et une unité de commande qui commande le mécanisme de rotation et le mécanisme de déplacement sur la base des résultats de mesure fournis par les trois unités de mesure de position.