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1. (WO2018088065) ÉLÉMENT DE CAPTEUR, CAPTEUR D'INERTIE ET APPAREIL ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2018/088065    International Application No.:    PCT/JP2017/035956
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 04 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01P 15/18
G01C 19/56
G01P 15/08
G01P 15/09
G01P 15/12
G01P 15/125
Applicants: SONY SEMICONDUCTOR SOLUTIONS CORPORATION
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
Inventors: KABASAWA, Hidetoshi
椛澤 秀年
KATO, Yusaku
加藤 祐作
MITANI, Satoshi
三谷 諭司
Title: ÉLÉMENT DE CAPTEUR, CAPTEUR D'INERTIE ET APPAREIL ÉLECTRONIQUE
Abstract:
Selon un mode de réalisation de la présente technologie, un élément de capteur est pourvu d'une partie de base, d'une partie mobile, de première et seconde parties de pont, et d'une partie de détection d'accélération La partie mobile est configurée pour recevoir une accélération dans au moins une direction axiale et pour être mobile par rapport à la partie de base. La première partie de pont a : des premiers faisceaux qui s'étendent dans une première direction axiale parallèle à une surface principale de la partie de base, et relient la partie de base à la partie mobile ; et des premières structures qui sont respectivement disposées entre les premiers faisceaux et la partie de base, et supportent les premiers faisceaux. La seconde partie de pont a : des seconds faisceaux qui s'étendent dans une seconde direction axiale perpendiculaire au premier axe et parallèle à la surface primaire, et relient la partie de base à la partie mobile ; et des secondes structures qui sont respectivement disposées entre les seconds faisceaux et la partie de base, et supportent les seconds faisceaux. Les parties de détection d'accélération sont respectivement disposées dans les premier et second faisceaux, et émettent des premiers signaux de détection en fonction des quantités de déformation des premier et second faisceaux.