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1. (WO2018087957) SYSTÈME DE DÉTECTION DE SUBSTANCE ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE SUBSTANCE
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N° de publication : WO/2018/087957 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/024718
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 05.07.2017
CIB :
G01N 5/04 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
5
Analyse des matériaux par pesage, p.ex. pesage des fines particules séparées d'un gaz ou d'un liquide
04
en éliminant un constituant, p.ex. par évaporation, et en pesant le reste
Déposants :
日本電波工業株式会社 NIHON DEMPA KOGYO CO., LTD. [JP/JP]; 東京都渋谷区笹塚1丁目47番地1号 1-47-1, Sasazuka, Shibuya-ku, Tokyo 1518569, JP
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 JAPAN AEROSPACE EXPLORATION AGENCY [JP/JP]; 東京都調布市深大寺東町七丁目44番地1 7-44-1, Jindaiji-Higashimachi, Chofu-shi, Tokyo 1828522, JP
Inventeurs :
茎田 啓行 KUKITA, Hiroyuki; JP
若松 俊一 WAKAMATSU, Shunichi; JP
塩原 毅 SHIOBARA, Tsuyoshi; JP
石川 貴之 ISHIKAWA, Takayuki; JP
宮崎 英治 MIYAZAKI, Eiji; JP
土屋 佑太 TSUCHIYA, Yuta; JP
Mandataire :
泉 通博 IZUMI, Michihiro; JP
Données relatives à la priorité :
2016-22191814.11.2016JP
Titre (EN) SUBSTANCE DETECTION SYSTEM AND SUBSTANCE DETECTION METHOD
(FR) SYSTÈME DE DÉTECTION DE SUBSTANCE ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE SUBSTANCE
(JA) 物質検出システム及び物質検出方法
Abrégé :
(EN) A substance detection system comprising: a reference crystal oscillator and a detection crystal oscillator formed on a single crystal substrate; an oscillation circuit module that sequentially oscillates the reference crystal oscillator and the detection crystal oscillator at a fundamental wave frequency and a third-harmonic wave frequency; a temperature identifying unit that identifies the surface temperature of the crystal substrate on the basis of a differential between a deviation of the fundamental wave frequency relative to a prescribed reference fundamental wave frequency of at least one of the reference crystal oscillator and detection crystal oscillator, and a deviation of the third-harmonic wave frequency relative to a prescribed reference third-harmonic wave frequency; and a substance identifying unit that, on the basis of the difference between the fundamental wave frequency of the reference crystal oscillator and the fundamental wave frequency of the detection crystal oscillator measured by a frequency measuring unit and on the basis of the temperature identified by the temperature identifying unit, identifies a temperature at which a contamination substance adhered to the detection crystal oscillator has detached therefrom and then identifies the contamination substance on the basis of the temperature at which the detachment occurred.
(FR) L'invention concerne un système de détection de substance comprenant : un oscillateur à cristal de référence et un oscillateur à cristal de détection formés sur un substrat monocristallin ; un module de circuit d'oscillation qui fait osciller séquentiellement l'oscillateur à cristal de référence et l'oscillateur à cristal de détection à une fréquence d'onde fondamentale et une fréquence d'onde de troisième harmonique ; une unité d'identification de température qui identifie la température de surface du substrat cristallin en fonction d'un différentiel entre un écart de la fréquence d'onde fondamentale par rapport à une fréquence d'onde fondamentale de référence prescrite de l'oscillateur à cristal de référence et/ou de l'oscillateur à cristal de détection, et un écart de la fréquence d'onde de troisième harmonique par rapport à une fréquence d'onde de troisième harmonique de référence prescrite ; et une unité d'identification de substance qui, en fonction de la différence entre la fréquence d'onde fondamentale de l'oscillateur à cristal de référence et la fréquence d'onde fondamentale de l'oscillateur à cristal de détection mesurée par une unité de mesure de fréquence et en fonction de la température identifiée par l'unité d'identification de température, identifie une température à laquelle une substance de contamination collée à l'oscillateur à cristal de détection s'est détachée de ce dernier et identifie ensuite la substance de contamination en fonction de la température à laquelle le détachement s'est produit.
(JA) 物質検出システムは、単一の水晶基板に形成されたリファレンス水晶振動子及び検出用水晶振動子と、リファレンス水晶振動子及び検出用水晶振動子を、基本波周波数及び3倍波周波数で順次発振させる発振回路モジュールと、リファレンス水晶振動子及び検出用水晶振動子の少なくともいずれかの所定の基準基本波周波数に対する基本波周波数の偏差と、所定の基準3倍波周波数に対する3倍波周波数の偏差と、の差分に基づいて、水晶基板の表面温度を特定する温度特定部と、周波数測定部が測定したリファレンス水晶振動子の基本波周波数と検出用水晶振動子の基本波周波数との差と、温度特定部が特定した温度とに基づいて、検出用水晶振動子に付着した汚染物質が検出用水晶振動子から脱離した温度を特定し、前記脱離した温度に基づき前記汚染物質を特定する物質特定部と、を有する。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)