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1. (WO2018087422) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ABLATION LASER
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N° de publication :    WO/2018/087422    N° de la demande internationale :    PCT/FI2017/050729
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 20.10.2017
CIB :
C23C 14/28 (2006.01)
Déposants : PICODEON LTD OY [FI/FI]; Piisilta 1 91100 Ii (FI)
Inventeurs : KEKKONEN, Ville; (FI).
SILTANEN, Mikael; (FI)
Mandataire : BERGGREN OY; Isokatu 32 90100 Oulu (FI)
Données relatives à la priorité :
20165846 10.11.2016 FI
Titre (EN) LASER ABLATION ARRANGEMENT AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ABLATION LASER
Abrégé : front page image
(EN)The present invention introduces a laser ablation arrangement and a corresponding method for PLD applications, where circular scanning patterns are utilized to achieve high scanning velocities on target (11–12, 31–34, 41–46, 51–53, 62, 73, 84, 92, 102, 114, 124) surfaces for efficient coating process. The arrangement allows for flexible positioning of targets and scan lines in order to optimize coating uniformity on large surface areas as well as high duty cycle for scanning. These features are all essential for achieving efficient industrial coating processes. Fast optical switching (15, 37, 40, 57) and synchronized rotation of scanning mirrors (13–14, 35–36, 47–49, 54–56, 61, 72, 83, 91, 101, 112, 122) enable efficient distribution of laser energy along long scan line paths on target surfaces.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'ablation laser et un procédé correspondant pour des applications de PLD, des motifs de balayage circulaires étant utilisés pour obtenir des vitesses de balayage élevées sur des surfaces cibles (11-12, 31-34, 41-46, 51-53, 62, 73, 84, 92, 102, 114, 124) pour un procédé de revêtement efficace. Le dispositif permet un positionnement souple des cibles et des lignes de balayage afin d'optimiser l'uniformité de revêtement sur de grandes surfaces et bénéficier d'un cycle utile élevé pour le balayage. Ces caractéristiques sont toutes essentielles pour obtenir des procédés de revêtement industriel efficaces. Une commutation optique rapide (15, 37, 40, 57) et une rotation synchronisée de miroirs de balayage (13–14, 35–36, 47–49, 54–56, 61, 72, 83, 91, 101, 112, 122) permettent une distribution efficace d'énergie laser le long de trajets de lignes de balayage longs sur des surfaces cibles.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)