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1. (WO2018087420) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE GRAPHÈNE CONTINU ET MONOLITHIQUE

Pub. No.:    WO/2018/087420    International Application No.:    PCT/FI2017/050536
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Jul 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 16/26
C23C 16/54
B01J 19/22
C01B 32/186
C01B 32/194
B32B 37/00
C30B 25/02
C30B 33/00
C23C 16/01
C30B 29/02
Applicants: NANOVATE OY
Inventors: PYYMAKI PERROS, Alexander Christian
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE GRAPHÈNE CONTINU ET MONOLITHIQUE
Abstract:
Cette invention concerne un système de production par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) comprenant un système de courroie rotative (1200, 2101) où au moins une courroie (1200) sert de substrat pour la croissance de film (1300), un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (1000, 1101) à travers lequel se passe la courroie et se produit la croissance du film (1300), et un appareil de transfert (1400) qui repose sur la ligne la de courroie rotative pour transférer au moins un film (1300) de la courroie (1200), vers un substrat cible (1403, 9103). À la suite de l'appareil de transfert (1400), se trouve un appareil de collecte du film (1300) et de distribution du film (1300) en vue d'un traitement ultérieur dans un processus continu. L'invention concerne en outre un procédé de production de graphène continu et monolithique dans lequel un dépôt chimique en phase vapeur est utilisé pour faire croître du graphène sur une courroie rotative, un appareil de transfert est utilisé pour collecter au moins un film à partir de la courroie et, à partir de l'appareil de transfert, le film est acheminé en vue d'un traitement ultérieur, la collecte, etc.