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1. (WO2018087356) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR DÉPÔT MOCVD

Pub. No.:    WO/2018/087356    International Application No.:    PCT/EP2017/079021
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 14 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/04
C23C 16/18
C23C 16/44
C23C 16/448
Applicants: AURUBIS BELGIUM SA/NV
Inventors: WOLANICKA, Lidia
BURDA, Marek
KOZIOL, Krzysztof Kazimierz
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR DÉPÔT MOCVD
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de dépôt chimique en phase vapeur par composé organométallique MOCVD, de fonctionnalisation de nanotubes de carbone avec un métal de transition, le procédé consistant à : agencer, sur un substrat à l'intérieur d'une chambre de réaction, une quantité de nanotubes de carbone en contact avec un composé organométallique du métal de transition; purger l'oxygène de la chambre de réaction et remplir la chambre de réaction avec un gaz de traitement; et chauffer la chambre de réaction à une température de traitement supérieure ou égale au point de fusion du composé organométallique; une réaction se produisant par là-même, dans laquelle le composé organométallique libère le métal de transition et le métal de transition fonctionnalise les nanotubes de carbone. L'invention concerne aussi un appareil associé. L'invention concerne également un procédé de placage de particules de cuivre avec un métal de transition, le procédé consistant à mélanger les particules de cuivre avec une solution aqueuse comprenant : une source d'un métal de transition, un agent réducteur destiné à produire des ions du métal de transition, et un agent complexant.