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1. (WO2018087219) DISPOSITIF D’IMAGERIE

Pub. No.:    WO/2018/087219    International Application No.:    PCT/EP2017/078741
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 10 00:59:59 CET 2017
IPC: G02B 26/10
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Inventors: JANES, Joachim
GIESE, Thorsten
Title: DISPOSITIF D’IMAGERIE
Abstract:
L’invention concerne un dispositif d’imagerie comprenant une source laser (1), un agencement de miroirs comportant deux miroirs paraboliques (3, 6) qui permettent de guider un faisceau laser de balayage (1a, 5) généré par la source laser sur une surface d’échantillon (9), et un dispositif de déviation (2), notamment un micro-scanner, apte à être commandé de manière à ce que le faisceau lumineux de balayage (1a, 5) balaie des points ciblés de la surface de l’échantillon, et un détecteur (10) qui assure la détection du rayonnement partant du point balayé de la surface d’échantillon. La résolution spatiale du dispositif d’imagerie est sensiblement défini par une focalisation, la plus concentrée possible, du faisceau laser, et la précision de l’angle de déviation réglable est défini par le micro-scanner.