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1. (WO2018087219) DISPOSITIF D’IMAGERIE
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N° de publication : WO/2018/087219 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/078741
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 09.11.2017
CIB :
G02B 26/10 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.[DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Inventeurs : JANES, Joachim; DE
GIESE, Thorsten; DE
Mandataire : PFENNING, MEINIG & PARTNER MBB; Patent- und Rechtsanwälte Joachimsthaler Straße 12 10719 Berlin, DE
Données relatives à la priorité :
10 2016 221 933.209.11.2016DE
10 2016 226 212.223.12.2016DE
Titre (EN) IMAGE GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D’IMAGERIE
(DE) BILDERZEUGUNGSEINRICHTUNG
Abrégé : front page image
(EN) The invention relates to an image generation device comprising a laser light source (1); a mirror assembly having two parabolic mirrors (3, 6) via which a scanning light beam (1a, 5) generated by the laser light source is directed onto a sample surface (9); a deflection device (2), in particular a micromirror scanner, which is controllable such that the scanning light beam (1a, 5) scans points of the sample surface in a targeted manner; and a detector (10) which detects radiation emanating from a scanned point of the sample surface. The spatial resolution of the image generation device is substantially defined by the narrowest possible focusing of the laser beam, and the accuracy of the adjustable deflection angle is defined by the micromirror scanner.
(FR) L’invention concerne un dispositif d’imagerie comprenant une source laser (1), un agencement de miroirs comportant deux miroirs paraboliques (3, 6) qui permettent de guider un faisceau laser de balayage (1a, 5) généré par la source laser sur une surface d’échantillon (9), et un dispositif de déviation (2), notamment un micro-scanner, apte à être commandé de manière à ce que le faisceau lumineux de balayage (1a, 5) balaie des points ciblés de la surface de l’échantillon, et un détecteur (10) qui assure la détection du rayonnement partant du point balayé de la surface d’échantillon. La résolution spatiale du dispositif d’imagerie est sensiblement défini par une focalisation, la plus concentrée possible, du faisceau laser, et la précision de l’angle de déviation réglable est défini par le micro-scanner.
(DE) Die Erfindung bezieht sich auf eine Bilderzeugungseinrichtung mit einer Laserlichtquelle (1), einer Spiegelanordnung mit zwei Parabolspiegeln (3, 6), über die ein durch die Laserlichtquelle erzeugter Abtast-Lichtstrahl (1a, 5) auf eine Probenfläche (9) geleitet wird, und mit einer Umlenkeinrichtung (2), insbesondere einem Mikrospiegel-Scanner, die derart steuerbar ist, dass der Abtast-Lichtstrahl (1a, 5) gezielt Punkte der Probenfläche abtastet, sowie mit einem Detektor (10), der Strahlung nachweist, die von einem abgetasteten Punkt der Probenfläche ausgeht. Die Ortsauflösung der Bilderzeugungseinrichtung ist im Wesentlichen durch eine möglichst enge Bündelung des Laserstrahls und die Genauigkeit des einstellbaren Ablenkwinkels durch den Mikrospiegelscanner definiert.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)