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1. (WO2018087120) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE RÉGULER L'UNIFORMITÉ D'UN FLUX DE GAZ DANS UN RÉACTEUR DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) OU DE DÉPÔT EN COUCHES ATOMIQUES (ALD) OU D'UNE COUCHE CULTIVÉE DANS CELUI-CI
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N° de publication : WO/2018/087120 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/078548
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 08.11.2017
CIB :
C23C 16/455 (2006.01) ,C23C 16/458 (2006.01) ,C23C 16/52 (2006.01)
Déposants : AIXTRON SE[DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath, DE
Inventeurs : KIM, Gi Youl; US
LIN, Mark Chen-lun; US
SIU, Gregory; US
PARK, Ki Chul; KR
MOHN, Jonathan David; US
LUCAS JR., H. William; US
Mandataire : GRUNDMANN, Dirk; DE
MÜLLER, Enno; DE
RIEDER, Hans-Joachim; DE
BRÖTZ, Helmut; DE
BOURREE, Hendrik; DE
Données relatives à la priorité :
15/348,88310.11.2016US
Titre (EN) DEVICE AND METHOD TO CONTROL THE UNIFORMITY OF A GAS FLOW IN A CVD OR AN ALD REACTOR OR OF A LAYER GROWN THEREIN
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE RÉGULER L'UNIFORMITÉ D'UN FLUX DE GAZ DANS UN RÉACTEUR DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) OU DE DÉPÔT EN COUCHES ATOMIQUES (ALD) OU D'UNE COUCHE CULTIVÉE DANS CELUI-CI
Abrégé : front page image
(EN) A measuring device is provided for determining the position of a susceptor in a reactor housing. The measuring device includes a central element, which can be fastened on the susceptor at a predefined location, and a plurality of sensing arms, which protrude from the central element beyond an outer periphery of the susceptor. The sensing arms respectively include a sensing section that can be brought in touching contact with a contact zone. The contact zone is formed byan inner periphery of the reactor housing or a component arranged in the reactor housing. Using the measuring device, the position of a susceptor of a CVD reactor is determined relative to the reactor housing or a component arranged in the reactor housing.
(FR) Un dispositif de mesure permet de déterminer la position d'un suscepteur dans une cuve de réacteur. Le dispositif de mesure comprend un élément central qui peut être fixé sur le suscepteur à un emplacement prédéfini, et une pluralité de bras de détection qui font saillie hors de l'élément central et au-delà de la périphérie extérieure du suscepteur. Les bras de détection comprennent respectivement une section de détection qui peut être amenée au contact d'une zone de contact. La zone de contact est formée par la périphérie intérieure de la cuve de réacteur ou par un composant disposé dans la cuve de réacteur. À l'aide du dispositif de mesure, la position d'un suscepteur d'un réacteur CVD est déterminée par rapport à la cuve de réacteur ou à un composant disposé dans la cuve de réacteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)