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1. (WO2018087120) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE RÉGULER L'UNIFORMITÉ D'UN FLUX DE GAZ DANS UN RÉACTEUR DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) OU DE DÉPÔT EN COUCHES ATOMIQUES (ALD) OU D'UNE COUCHE CULTIVÉE DANS CELUI-CI

Pub. No.:    WO/2018/087120    International Application No.:    PCT/EP2017/078548
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 09 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/455
C23C 16/458
C23C 16/52
Applicants: EUGENUS, INC.
Inventors: KIM, Gi Youl
LIN, Mark Chen-lun
SIU, Gregory
PARK, Ki Chul
MOHN, Jonathan David
LUCAS JR., H. William
Title: DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE RÉGULER L'UNIFORMITÉ D'UN FLUX DE GAZ DANS UN RÉACTEUR DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) OU DE DÉPÔT EN COUCHES ATOMIQUES (ALD) OU D'UNE COUCHE CULTIVÉE DANS CELUI-CI
Abstract:
Un dispositif de mesure permet de déterminer la position d'un suscepteur dans une cuve de réacteur. Le dispositif de mesure comprend un élément central qui peut être fixé sur le suscepteur à un emplacement prédéfini, et une pluralité de bras de détection qui font saillie hors de l'élément central et au-delà de la périphérie extérieure du suscepteur. Les bras de détection comprennent respectivement une section de détection qui peut être amenée au contact d'une zone de contact. La zone de contact est formée par la périphérie intérieure de la cuve de réacteur ou par un composant disposé dans la cuve de réacteur. À l'aide du dispositif de mesure, la position d'un suscepteur d'un réacteur CVD est déterminée par rapport à la cuve de réacteur ou à un composant disposé dans la cuve de réacteur.