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1. (WO2018087118) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE COUCHE DE GERMINATION STRUCTURÉE AU MOYEN D'UN FAISCEAU LASER, DISPOSITIF CORRESPONDANT
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N° de publication : WO/2018/087118 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/078545
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 08.11.2017
CIB :
B23K 26/00 (2014.01) ,B82B 3/00 (2006.01) ,B23K 26/073 (2006.01) ,B23K 26/08 (2014.01) ,B82Y 30/00 (2011.01) ,B82Y 40/00 (2011.01) ,B23K 26/354 (2014.01) ,B23K 26/0622 (2014.01) ,C01B 32/158 (2017.01) ,B23K 101/16 (2006.01) ,B23K 101/34 (2006.01) ,B23K 103/08 (2006.01) ,B23K 103/10 (2006.01) ,B23K 103/16 (2006.01) ,B23K 103/18 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
26
Travail par rayon laser, p.ex. soudage, découpage, perçage
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82
NANOTECHNOLOGIE
B
NANOSTRUCTURES FORMÉES PAR MANIPULATION D’ATOMES, DE MOLÉCULES OU D’ENSEMBLES LIMITÉS D’ATOMES OU DE MOLÉCULES UN À UN COMME DES UNITÉS INDIVIDUELLES; LEUR FABRICATION OU LEUR TRAITEMENT
3
Fabrication ou traitement des nanostructures par manipulation d’atomes ou de molécules, ou d’ensembles limités d’atomes ou de molécules un à un comme des unités individuelles
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
26
Travail par rayon laser, p.ex. soudage, découpage, perçage
02
Mise en place ou surveillance des pièces, p.ex. par rapport au point d'impact; Alignement, pointage ou focalisation du faisceau laser
06
Détermination de la configuration du faisceau, p.ex. à l'aide de masques, ou de foyers multiples
073
Détermination de la configuration du spot laser
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
26
Travail par rayon laser, p.ex. soudage, découpage, perçage
08
Dispositifs comportant un mouvement relatif entre le faisceau laser et la pièce
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82
NANOTECHNOLOGIE
Y
UTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
30
Nanotechnologie pour matériaux ou science des surfaces, p.ex. nanocomposites
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82
NANOTECHNOLOGIE
Y
UTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
40
Fabrication ou traitement des nanostructures
[IPC code unknown for B23K 26/354][IPC code unknown for B23K 26/0622][IPC code unknown for C01B 32/158]
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
101
Objets fabriqués par brasage, soudage ou découpage
16
Bandes ou feuilles de longueur indéterminée
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
101
Objets fabriqués par brasage, soudage ou découpage
34
Objets revêtus
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
103
Matières à braser, souder ou découper
08
Métaux ou alliages non ferreux
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
103
Matières à braser, souder ou découper
08
Métaux ou alliages non ferreux
10
Aluminium ou ses alliages
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
103
Matières à braser, souder ou découper
16
Matériaux composites
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
103
Matières à braser, souder ou découper
18
Matériaux comportant des matières différentes
Déposants :
AIXTRON SE [DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath, DE
Inventeurs :
SCHINELLER, Bernd; DE
Mandataire :
GRUNDMANN, Dirk; DE
MÜLLER, Enno; DE
RIEDER, Hans-Joachim; DE
BRÖTZ, Helmut; DE
BOURREE, Hendrik; DE
Données relatives à la priorité :
10 2016 121 462.009.11.2016DE
Titre (EN) METHOD FOR PRODUCING A STRUCTURE SEED LAYER USING A LASER BEAM; CORRESPONDING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE COUCHE DE GERMINATION STRUCTURÉE AU MOYEN D'UN FAISCEAU LASER, DISPOSITIF CORRESPONDANT
(DE) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER STRUKTURIERTEN KEIMSCHICHT UNTER VERWENDUNG EINES LASERSTRAHLES; ENTSPRECHENDE VORRICHTUNG
Abrégé :
(EN) The invention relates to a method for producing a structured seed layer for carbon nanotubes (16) to be deposited thereon. Energy is applied by means of a laser beam (4) to a metal layer previously applied to a substrate such that the metal layer is broken up into individual islands. The laser beam (4) is expanded to a beam (5) having a linear cross-section and a linear exposure zone (15) of the metal layer is simultaneously exposed to the expanded beam, said exposure zone (15) moving across the metal layer in a direction transverse to the length of the exposure zone. An apparatus for carrying out the method comprises a device (9, 10) for transporting a substrate with a metal layer applied thereto, and a laser (6) to produce a laser beam (4), and a device (7) for expanding the laser beam to produce a linear exposure zone (15), the device (7) being arranged such that the linear exposure zone (15) extends perpendicular to the direction in which the substrate (1) is transported.
(FR) L'invention concerne un procédé de production d'une couche de germination structurée sur laquelle doivent être déposés des nanotubes de carbone (16), selon lequel une couche métallique précédemment appliquée sur un substrat est soumise à l'énergie d'un faisceau laser (4) de telle manière que la couche métallique se transforme en ilots individuels. Le faisceau laser (4) est élargi pour former un faisceau (5) linéaire en section transversale par lequel une zone d'éclairage linéaire (15) de la couche métallique est simultanément éclairée, et ladite zone d'éclairage linéaire (15) migre dans une direction transversale à sa direction longitudinale au-dessus de la couche métallique. L'invention concerne également un dispositif permettant la mise en œuvre du procédé, et présentant un dispositif (9, 10) de transport d'un substrat sur lequel est appliquée une couche métallique, un laser (6) produisant un faisceau laser (4), et un dispositif (7) servant à élargir le faisceau laser pour produire une zone d'éclairage linéaire (15), le dispositif (7) étant agencé de telle manière que la zone d'éclairage linéaire (15) est perpendiculaire au sens de transport du substrat (1).
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer strukturierten Keimschicht zum darauf Abscheiden von Kohlenstoff-Nanoröhrchen (16), wobei eine zuvor auf ein Substrat aufgebrachte Metallschicht mit einem Laserstrahl (4) derart energiebeaufschlagt wird, dass sich die Metallschicht zu vereinzelten Inseln umformt, wobei der Laserstrahl (4) zu einem im Querschnitt linienförmigen Strahl (5) aufgeweitet wird, mit dem gleichzeitig eine linienförmige Belichtungszone (15) der Metallschicht belichtet wird, welche Belichtungszone (15) in einer Richtung quer zu ihrer Erstreckungsrichtung über die Metallschicht wandert. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist eine Einrichtung (9, 10) zum Transport eines Substrates mit einer darauf aufgebrachten Metallschicht und einen Laser (6) zur Erzeugung eines Laserstrahls (4), eine Einrichtung (7) zur Aufweitung des Laserstrahls zur Erzeugung einer linienförmigen Belichtungszone (15) auf, wobei die Einrichtung (7) derart angeordnet ist, dass sich die linienförmige Belichtungszone (15) senkrecht zur Transportrichtung des Substrates (1) erstreckt.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)