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1. (WO2018086885) PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT, DISPOSITIF DE REVÊTEMENT ET COMPOSANT
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N° de publication : WO/2018/086885 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/077263
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 25.10.2017
CIB :
H05B 3/00 (2006.01) ,C23C 14/04 (2006.01) ,C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/26 (2006.01) ,C23C 14/30 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
B
CHAUFFAGE ÉLECTRIQUE; ÉCLAIRAGE ÉLECTRIQUE NON PRÉVU AILLEURS
3
Chauffage par résistance ohmique
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04
Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
24
Evaporation sous vide
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
24
Evaporation sous vide
26
par chauffage de la source par induction ou par résistance
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
24
Evaporation sous vide
28
par énergie éléctromagnétique ou par rayonnement corpusculaire
30
par bombardement d'électrons
Déposants :
EMDE, Thomas [DE/DE]; DE
Inventeurs :
FRANKE, Sebastian; DE
NOWAK, Christine; DE
MONTZKA, Sebastian; DE
WOLF, Lisa; DE
SCHMIDT, Hans; DE
FÜNDLING, Dr. Ing. Sönke; DE
KOWALSKY, Prof. Wolfgang; DE
Mandataire :
FRITZ UND BRANDENBURG PATENTANWÄLTE; Stolberger Straße 368 50933 Köln, DE
Données relatives à la priorité :
10 2016 121 791.314.11.2016DE
Titre (EN) COATING METHOD, COATING DEVICE AND COMPONENT
(FR) PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT, DISPOSITIF DE REVÊTEMENT ET COMPOSANT
(DE) BESCHICHTUNGSVERFAHREN, BESCHICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUTEIL
Abrégé :
(EN) The invention relates to a coating device for coating a substrate (1) with a coating material (4), wherein the coating device has: a) at least one material discharge device (5, 6) having at least one material discharge point (6), which is configured for discharging the coating material (4); b) at least one evaporation device (7, 8, 9) which is configured for transferring the coating material (4) from a non-gaseous state into a gaseous state, characterised in that: c) the at least one evaporation device (7, 8, 9) has at least one heating element (7) arranged in the region of the material discharge point (6), which can be transferred into a heating state by means of electrical current flowing through the heating element (7); d) the heating element (7) is electrically connected at least to a first and a second voltage-supply connection (12, 13) of the coating device, wherein the first and the second voltage-supply connection (12, 13) is configured for connecting a first voltage-supply device (16), in order to bring about an electrical current flow in the heating element (7); e) the coating material (4) is electrically connected at least to a third voltage-supply connection (14) of the coating device, wherein the third voltage-supply connection (14) is configured for connecting a second voltage-supply device (17), in order to bring about an electrical potential at the coating material (4), which is greater than the electrical potential at the heating element (7), in order to bring about an electrical current flow in the coating material (4). The invention also relates to a method for coating a substrate with a coating material, as well as a component having a substrate.
(FR) L’invention concerne un dispositif de revêtement destiné à revêtir un substrat (1) avec un matériau de revêtement (4). Le dispositif de revêtement comprend : a) au moins un moyen de distribution de matériau (5, 6) muni d’au moins un point de distribution de matériau (6) qui est conçu pour distribuer le matériau de revêtement (4), b) au moins un moyen d’évaporation (7, 8, 9) qui est conçu pour transférer le matériau de revêtement (4) d’un état non gazeux à un état gazeux, caractérisé en ce que c) l’au moins un moyen d’évaporation (7, 8, 9) comporte au moins un élément luminescent (7) disposé dans la zone du point de distribution de matériau (6) et pouvant être placé dans un état luminescent au moyen d’un courant électrique circulant dans l’élément luminescent (7), d) l’élément luminescent (7) est relié électriquement au moins à des première et deuxième borne d’alimentation en tension (12, 13) du moyen de revêtement, les première et deuxième bornes d’alimentation en tension (12, 13) étant conçues pour être reliées un premier moyen d’alimentation en tension (16) afin de générer un courant électrique dans l’élément luminescent (7), e) le matériau de revêtement (4) est relié électriquement au moins à une troisième borne d’alimentation en tension (14) du moyen de revêtement, la troisième borne d’alimentation (14) étant conçue pour être reliée à un second moyen d’alimentation en tension (17) afin de générer au niveau du matériau de revêtement (4) un potentiel électrique qui est supérieur au potentiel électrique au niveau de l’élément luminescent (7) afin de générer un flux de courant dans le matériau de revêtement (4). L’invention concerne également un procédé de revêtement d’un substrat avec un matériau de revêtement et un composant pourvu d’un substrat.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Beschichtungseinrichtung zur Beschichtung eines Substrats (1) mit einem Beschichtungsmaterial (4), wobei die Beschichtungseinrichtung auf- weist: a) wenigstens eine Materialabgabeeinrichtung (5, 6) mit wenigstens einer Materialab- gabestelle (6), die zur Abgabe des Beschichtungsmaterials (4) eingerichtet ist, b) wenigstens eine Verdampfungseinrichtung (7, 8, 9), die zur Überführung des Be- schichtungsmaterials (4) von einem nichtgasförmigen Zustand in einen gasförmi- gen Zustand eingerichtet ist, dadurch gekennzeichnet, dass c) die wenigstens eine Verdampfungseinrichtung (7, 8, 9) wenigstens ein im Bereich der Materialabgabestelle (6) angeordnetes Glühelement (7) aufweist, das mittels durch das Glühelement (7) fließendem elektrischen Strom in einen glühenden Zu- stand versetzbar ist, d) das Glühelement (7) wenigstens mit einem ersten und einem zweiten Spannungs- versorgungsanschluss (12, 13) der Beschichtungseinrichtung elektrisch verbunden ist, wobei der erste und der zweite Spannungsversorgungsanschluss (12, 13) zum Anschluss einer ersten Spannungsversorgungseinrichtung (16) eingerichtet sind, um einen elektrischen Stromfluss in dem Glühelement (7) zu bewirken, e) das Beschichtungsmaterial (4) wenigstens mit einem dritten Spannungsversor- gungsanschluss (14) der Beschichtungseinrichtung elektrisch verbunden ist, wobei der dritte Spannungsversorgungsanschluss (14) zum Anschluss einer zweiten Spannungsversorgungseinrichtung (17) eingerichtet ist, um ein elektrisches Poten- tial am Beschichtungsmaterial (4) zu bewirken, das höher ist als das am Glühele- ment (7) anliegende elektrische Potential, um einen elektrischen Stromfluss in dem Beschichtungsmaterial (4) zu bewirken. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats mit einem Beschichtungsmaterial sowie ein Bauteil mit einem Substrat.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)