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1. (WO2018086870) COLLECTEUR DE COMBUSTIBLE ET SYSTÈME ASSOCIÉ
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N° de publication :    WO/2018/086870    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/077113
Date de publication : 17.05.2018 Date de dépôt international : 24.10.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : FRANKEN, Johannes, Christiaan, Leonardus; (NL)
Mandataire : FILIP, Diana; (NL)
Données relatives à la priorité :
16198660.9 14.11.2016 EP
Titre (EN) A FUEL COLLECTOR AND ASSOCIATED SYSTEM
(FR) COLLECTEUR DE COMBUSTIBLE ET SYSTÈME ASSOCIÉ
Abrégé : front page image
(EN)A radiation system comprising a fuel emitter configured to provide fuel to a plasma formation region, an excitation device arranged to provide an excitation beam at the plasma formation region to convert at least a part of the fuel into a radiation emitting plasma and a fuel collector (15) configured to collect at least another part of the fuel, said at least other part of the fuel comprising fuel that passes through the plasma formation region without being converted to radiation emitting plasma, the fuel collector comprising a movable surface (16) for receiving the fuel, the fuel collector being configured to move the surface at a velocity or speed that is selected in dependence on a velocity or speed of the fuel.
(FR)La présente invention se rapporte à un système de rayonnement qui comprend un émetteur de combustible conçu pour fournir du combustible à une région de formation de plasma, un dispositif d'excitation servant à fournir un faisceau d'excitation à l'emplacement de la région de formation de plasma pour convertir au moins une partie du combustible en un plasma émettant un rayonnement, et un collecteur de combustible (15) prévu pour collecter au minimum une autre partie du combustible, ladite ou lesdites autres parties du combustible comportant du combustible qui passe à travers la région de formation de plasma sans être converti en plasma émettant un rayonnement, le collecteur de combustible comprenant une surface mobile (16) qui permet de recevoir le combustible, ledit collecteur de combustible étant conçu pour déplacer la surface à une vélocité ou une vitesse qui sont sélectionnées en fonction d'une vélocité ou d'une vitesse du combustible.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)