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1. (WO2018086870) COLLECTEUR DE COMBUSTIBLE ET SYSTÈME ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2018/086870    International Application No.:    PCT/EP2017/077113
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
H05G 2/00
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: FRANKEN, Johannes, Christiaan, Leonardus
Title: COLLECTEUR DE COMBUSTIBLE ET SYSTÈME ASSOCIÉ
Abstract:
La présente invention se rapporte à un système de rayonnement qui comprend un émetteur de combustible conçu pour fournir du combustible à une région de formation de plasma, un dispositif d'excitation servant à fournir un faisceau d'excitation à l'emplacement de la région de formation de plasma pour convertir au moins une partie du combustible en un plasma émettant un rayonnement, et un collecteur de combustible (15) prévu pour collecter au minimum une autre partie du combustible, ladite ou lesdites autres parties du combustible comportant du combustible qui passe à travers la région de formation de plasma sans être converti en plasma émettant un rayonnement, le collecteur de combustible comprenant une surface mobile (16) qui permet de recevoir le combustible, ledit collecteur de combustible étant conçu pour déplacer la surface à une vélocité ou une vitesse qui sont sélectionnées en fonction d'une vélocité ou d'une vitesse du combustible.