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. (WO2018086300) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UNE FACE INCLINÉE AU NIVEAU DE LA SURFACE D'UN SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/086300    International Application No.:    PCT/CN2017/078831
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 31 01:59:59 CEST 2017
IPC: B81C 1/00
Applicants: SHANGHAI INDUSTRIAL ΜTECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
上海新微技术研发中心有限公司
Inventors: DING, Liusheng
丁刘胜
Title: PROCÉDÉ DE FORMATION D'UNE FACE INCLINÉE AU NIVEAU DE LA SURFACE D'UN SUBSTRAT
Abstract:
Procédé de formation d'une face inclinée au niveau d'une surface d'un substrat comprenant : l'emploi d'un changement de taille d'un matériau dans un processus d'oxydation pour amener une face plate à s'incliner par rapport à une surface d'un substrat (200), formant de ce fait une face inclinée (208). Un angle de la face inclinée (208) peut être commandé. La face inclinée (208) présente une planéité favorable.