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1. (WO2018085222) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE CONTRÔLE THERMIQUE DE TÊTE DE PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/085222    International Application No.:    PCT/US2017/059182
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 01 00:59:59 CET 2017
IPC: H05H 1/24
H05H 1/28
Applicants: ONTOS EQUIPMENT SYSTEMS, INC.
Inventors: HUGHLETT, Robert, E.
PHILLIPS, Matthew, S.
SCHULTE, Eric, F.
STEAD, Michael, D.
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE CONTRÔLE THERMIQUE DE TÊTE DE PLASMA
Abstract:
L’invention concerne un système à plasma à pression atmosphérique qui inclut une source de plasma à pression atmosphérique qui génère un plasma de type à décharge luminescente. La source de plasma à pression atmosphérique comprend une tête de plasma, un élément chauffant et un élément de refroidissement actif et l’élément chauffant et l’élément de refroidissement actif contrôlent la température de la tête de plasma à une température de consigne indépendante des variations de puissance de génération de plasma ou de l’état actif ou inactif de l’alimentation de plasma.