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1. (WO2018084965) SYSTÈME DE CHARGEMENT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/084965    International Application No.:    PCT/US2017/053706
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/68
B29C 43/02
B29C 59/00
B29C 59/02
G03F 7/00
H01L 21/67
Applicants: MOLECULAR IMPRINTS, INC.
Inventors: PATTERSON, Roy
AHAMED, Yaseer, A.
Title: SYSTÈME DE CHARGEMENT DE SUBSTRAT
Abstract:
L’invention concerne des procédés, des systèmes et un appareil pour un procédé de transfert de substrat, consistant à positionner un dispositif manipulateur de plateau dans une première position avec i) des découpes d’un orifice du premier plateau en superposition avec des piliers respectifs d’une plateforme de piliers et ii) une extrémité distale des piliers s’étendant en s’éloignant d’une surface supérieure du premier plateau ; à accroître une distance entre la surface supérieure du premier plateau et une surface supérieure de la plateforme de piliers pour transférer un premier substrat des piliers vers les languettes définies par l’orifice du premier plateau, tout en mettant simultanément en prise le deuxième manipulateur de plateau avec le deuxième plateau ; et à accroître une distance entre la surface supérieure du deuxième plateau et la surface inférieure d’un mandrin pour transférer un deuxième substrat du mandrin vers les languettes définies par le deuxième plateau.