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1. (WO2018084508) STRUCTURE DE BOBINE D'INDUCTION ET DISPOSITIF POUR LA GÉNÉRATION DE PLASMA À COUPLAGE INDUCTIF
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N° de publication : WO/2018/084508 N° de la demande internationale : PCT/KR2017/012040
Date de publication : 11.05.2018 Date de dépôt international : 30.10.2017
CIB :
H01J 37/32 (2006.01) ,H01Q 1/26 (2006.01) ,H01Q 1/52 (2006.01) ,H05H 1/46 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 37/32][IPC code unknown for H01Q 1/26][IPC code unknown for H01Q 1/52][IPC code unknown for H05H 1/46]
Déposants :
인투코어테크놀로지 주식회사 EN2CORE TECHNOLOGY, INC [KR/KR]; 대전시 유성구 문지로 193, T342 T342, 193, Munji-ro Yuseong-gu Daejeon 34051, KR
Inventeurs :
엄세훈 UHM, Sae Hoon; KR
이윤성 LEE, Yun Seong; KR
Mandataire :
특허법인 누리 NURY PATENT LAW FIRM; 서울시 강남구 테헤란로 25길 15-5, 4층 4F, 15-5, Teheran-ro 25-gil Gangnam-gu Seoul 06131, KR
Données relatives à la priorité :
10-2016-014605803.11.2016KR
Titre (EN) INDUCTION COIL STRUCTURE AND DEVICE FOR GENERATING INDUCTIVELY COUPLED PLASMA
(FR) STRUCTURE DE BOBINE D'INDUCTION ET DISPOSITIF POUR LA GÉNÉRATION DE PLASMA À COUPLAGE INDUCTIF
(KO) 유도 코일 구조체 및 유도 결합 플라즈마 발생 장치
Abrégé :
(EN) A device for generating inductively coupled plasma according to an embodiment of the present invention includes: a dielectric tube which extends in the length direction; a first induction coil structure which is disposed to enclose the dielectric tube and generates inductively coupled plasma in the dielectric tube; an RF power source which provides a positive output and a negative output having opposite phases, supplies respectively the positive output and the negative output of RF power to both terminals of the first induction coil structure, and changes a driving frequency; a first main capacitor disposed between a positive output terminal of the RF power source and one terminal of the first induction coil structure; and a second main capacitor disposed between a negative output terminal of the RF power source and the other terminal of the first induction coil structure. The first induction coil structure includes: induction coils which are connected in series and respectively disposed on different layers, and have at least one turn in each layer; and auxiliary capacitors which are respectively disposed between adjacent inductor coils so as to distribute voltages applied to the induction coils.
(FR) Un mode de réalisation de la présente invention concerne un dispositif pour la génération de plasma à couplage inductif comprenant : un tube diélectrique qui s'étend dans le sens de la longueur ; une première structure de bobine d'induction qui est disposée de façon à entourer le tube diélectrique et qui génère du plasma à couplage inductif dans le tube diélectrique ; une source d'énergie RF qui produit une sortie positive et une sortie négative ayant des phases opposées, qui fournit respectivement une sortie positive et une sortie négative d'énergie RF aux deux bornes de la première structure de bobine d'induction et qui modifie une fréquence d'excitation ; un premier condensateur principal disposé entre une borne de sortie positive de la source d'énergie RF et une borne de la première structure de bobine d'induction ; et un deuxième condensateur principal disposé entre une borne de sortie négative de la source d'énergie RF et l'autre borne de la première structure de bobine d'induction. La première structure de bobine d'induction comprend : des bobines d'induction qui sont reliées en série et respectivement disposées sur des couches différentes, et qui possèdent au moins une spire dans chaque couche ; et des condensateurs auxiliaires qui sont respectivement disposés entre des bobines d'induction voisines pour distribuer les tensions appliquées aux bobines d'induction.
(KO) 본 발명의 일 실시예에 따른 유도 결합 플라즈마 발생 장치는, 길이방향으로 연장되는 유전체 튜브; 상기 유전체 튜브를 감싸도록 배치되고 상기 유전체 튜브 내에 유도 결합 플라즈마를 생성하는 제1 유도 코일 구조체; 서로 반대 위상의 양의 출력 및 음의 출력을 제공하고, 상기 제1 유도 코일 구조체의 양단에 RF 전력의 양의 출력 및 음의 출력을 각각 공급하고, 구동 주파수를 변경하는 RF 전원; 상기 RF 전원의 양의 출력단과 상기 제1 유도 코일 구조체의 일단 사이에 배치된 제1 메인 축전기; 및 상기 RF 전원의 음의 출력단과 상기 제1 유도 코일 구조체의 타단 사이에 배치된 제2 메인 축전기를 포함한다. 상기 제1 유도 코일 구조체는, 서로 직렬 연결되고, 서로 다른 층에 각각 배치되고, 각 층에서 적어도 한 턴(one turn) 이상을 구비한 유도 코일들; 및 서로 인접한 유도 코일들 사이에 각각 배치되어 상기 유도 코일들에 인가되는 전압을 분배하는 보조 축전기들을 포함한다.
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Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)