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1. (WO2018083882) DISPOSITIF D'INSPECTION À ULTRASONS

Pub. No.:    WO/2018/083882    International Application No.:    PCT/JP2017/032545
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 09 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 29/265
G01N 29/28
G01R 31/26
G01R 31/28
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: MATSUMOTO Toru
松本 徹
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION À ULTRASONS
Abstract:
Cette invention concerne un dispositif d'inspection à ultrasons 1, permettant d'inspecter un dispositif à semi-conducteur D encapsulé, comprenant : un transducteur ultrasonore 2 placé à l'opposé du dispositif semi-conducteur D ; une unité de maintien de milieu 12 située à une extrémité 2b du transducteur ultrasonore 2 à l'opposé du dispositif à semi-conducteur D et qui maintient un milieu M à travers lequel des ondes ultrasonores W se propagent ; un étage 3 qui déplace les positions relatives du dispositif à semi-conducteur D et du transducteur ultrasonore 2 ; et une unité d'analyse 22 qui analyse la réaction du dispositif à semi-conducteur D en réponse à l'application des ondes ultrasonores W provenant du transducteur ultrasonore 2.