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1. (WO2018083174) REVÊTEMENT CÉRAMIQUE EN VERRE DE SILICATE D'YTTRIUM-ALUMINIUM POUR APPAREIL DE CHAMBRE À SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/083174 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/078048
Date de publication : 11.05.2018 Date de dépôt international : 02.11.2017
CIB :
C04B 41/86 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01) ,C03C 3/11 (2006.01)
Déposants : MORGAN ADVANCED CERAMICS, INC[US/US]; 2425 Whipple Road Hayward, California 94544, US
MORGAN ADVANCED MATERIALS PLC.[GB/GB]; Quadrant 55-57 High Street Windsor Berkshire SL4 1LP, GB (BZ)
Inventeurs : LEE, Chengtsin; US
Mandataire : PHILLIPS & LEIGH LLP; 5 Pemberton Row London EC4A 3BA, GB
Données relatives à la priorité :
62/416,36902.11.2016US
Titre (EN) YTTRIUM ALUMINUM SILICATE GLASS CERAMIC COATING FOR SEMICONDUCTOR CHAMBER APPARATUS
(FR) REVÊTEMENT CÉRAMIQUE EN VERRE DE SILICATE D'YTTRIUM-ALUMINIUM POUR APPAREIL DE CHAMBRE À SEMI-CONDUCTEUR
Abrégé :
(EN) Articles may be protected against halide plasma, by applying a rare earth-containing glaze to the surface of the article. The glaze may be a coating comprising; 20 to 90 mol% SiO2, 0 to 60 mol% Al2O3, 10 to 80 mol% rare earth oxides and/or rare earth fluorides (REX), wherein SiO2+ Al2O3+REX ≥60 mol%.
(FR) Certains articles peuvent être protégés contre un plasma d'halogénures, par l'application sur la surface de l'article d'une glaçure contenant des terres rares. La glaçure peut être un revêtement contenant : de 20 à 90 % en moles de SiO2, de 0 à 60 % en moles d'Al2O3, de 10 à 80 % en moles d'oxydes de terres rares et/ou de fluorures de terres rares (REX), sachant que SiO2 + Al2O3 + REX ≥ 60 % en moles.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)