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1. (WO2018082955) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT DE MESURER UN PARAMÈTRE D'UN PROCESSUS LITHOGRAPHIQUE, PRODUITS PROGRAMMES D'ORDINATEUR PERMETTANT DE METTRE EN ŒUVRE CE PROCÉDÉ ET CET APPAREIL

Pub. No.:    WO/2018/082955    International Application No.:    PCT/EP2017/076991
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Oct 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: CRAMER, Hugo, Augustinus Joseph
FAGGINGER AUER, Bastiaan, Onne
Title: PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT DE MESURER UN PARAMÈTRE D'UN PROCESSUS LITHOGRAPHIQUE, PRODUITS PROGRAMMES D'ORDINATEUR PERMETTANT DE METTRE EN ŒUVRE CE PROCÉDÉ ET CET APPAREIL
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de mesure d'un paramètre d'intérêt relatif à une structure sur un substrat, et un appareil de métrologie associé. Le procédé consiste à déterminer une correction pour compenser l'effet d'une condition de mesure sur un signal de mesure parmi une pluralité de signaux de mesure, chacun desdits signaux de mesure résultant d'une mesure différente de la structure réalisée avec une variation différente de ladite condition de mesure. La correction est ensuite utilisée dans une reconstruction d'un modèle mathématique de ladite structure pour supprimer une influence de variations de ladite condition de mesure sur la reconstruction.