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1. (WO2018082251) DÉTECTEUR D'ULTRAVIOLETS COMPRENANT UN RÉSEAU DE NANOFILS DE GAN, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2018/082251    International Application No.:    PCT/CN2017/079209
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sun Apr 02 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 31/0304
H01L 31/103
H01L 31/18
B82Y 20/00
Applicants: SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY
华南师范大学
Inventors: HE, Miao
何苗
WANG, Zhicheng
王志成
ZHENG, Shuwen
郑树文
ZHU, Ning
朱凝
Title: DÉTECTEUR D'ULTRAVIOLETS COMPRENANT UN RÉSEAU DE NANOFILS DE GAN, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
L'invention concerne un détecteur d'ultraviolets comprenant un réseu de nanofils de GaN, et son procédé de fabrication. Le détecteur comprend un substrat (1) et une couche de film mince de GaN de type P (2), la couche de film mince de GaN de type P (2) étant disposée sur la surface supérieure du substrat (1), un réseau de nanofils de GaN de type N étant développé sur la couche de film mince de GaN de type P (2), et une jonction PN homogène étant formée entre les nanofils de GaN de type N (7) dans le réseau de Nanofils de GaN de type N et la couche de film mince de GaN de type P (2). Le procédé comprend la mise en œuvre d'une isolation de remplissage d'espace de nanofils au moyen d'un liquide de verre de revêtement par centrifugation (4), et la mise en œuvre d'une injection électrique; la mise en œuvre d'une interconnexion de réseau de nanofils au moyen d'un dépôt en phase vapeur d'une couche conductrice transparente (5) pour étendre le courant; et disposer une électrode ohmique de type P (3) sur la couche de film mince de GaN de type P (2) et disposer une électrode ohmique de type N (6) sur la couche conductrice transparente (5) pour ainsi fabriquer le détecteur d'ultraviolets à réseau de nanofils. Le présent procédé présente les avantages d'être à faible coût, d'avoir une sensibilité élevée, une performance stable, et un procédé de fabrication simple, et d'être facile à utiliser pendant un travail pratique. Le détecteur d'ultraviolets et son procédé de fabrication peuvent être largement utilisés dans le domaine technique de la détection des ultraviolets.