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1. (WO2018080797) BAGUE DE RETENUE
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N° de publication :    WO/2018/080797    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/056253
Date de publication : 03.05.2018 Date de dépôt international : 12.10.2017
CIB :
B29C 45/14 (2006.01), B24B 37/32 (2012.01), B29K 679/00 (2006.01)
Déposants : E. I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY [US/US]; Chestnut Run Plaza 974 Centre Road, P.O. Box 2915 Wilmington, Delaware 19805 (US)
Inventeurs : LIU, Qi; (JP).
NAKAGAWA, Shin-Ichi; (JP).
SHITANOKI, Yuki; (JP).
RAI, Bunichi; (JP)
Mandataire : WEAVER, Otha G.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/412,310 25.10.2016 US
Titre (EN) RETAINER RING
(FR) BAGUE DE RETENUE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a retainer ring for chemical mechanical polishing (CMP). A method of manufacturing a retainer ring for CMP comprising steps of: preparing two or more of arc-shaped polishing parts comprising a non-thermoplastic polyimide resin composition, wherein each part comprises a polishing surface and a boding surface: setting the arc-shaped polishing parts at a bottom of a mold with the polishing surface facing to the bottom of the mold: and injecting a molten thermoplastic resin composition on the bonding surface of the arc-shaped polishing parts to form a holding layer.
(FR)La présente invention concerne une bague de retenue destinée au polissage mécano-chimique (CMP). La présente invention concerne également un procédé de fabrication d’une bague de retenue pour le CMP comprenant les étapes consistant en : la préparation de deux pièces de polissage en forme d’arc ou plus comprenant une composition de résine de polyimide non thermoplastique, chaque partie comprenant une surface de polissage et une surface d’accueil : le paramétrage des pièces de polissage en forme d’arc en partie inférieure d’un moule avec la surface de polissage faisant face à la partie inférieure du moule : et l’injection d’une composition de résine thermoplastique fondue sur la surface de liaison des pièces de polissage en forme d’arc pour former une couche de maintien.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)