Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018080744) INTERFACES DE MODULE FRONTAL D'ÉQUIPEMENT FLEXIBLE, MODULES FRONTAUX D'ÉQUIPEMENT À COMMANDES ENVIRONNEMENTALES, ET PROCÉDÉS D'ASSEMBLAGE

Pub. No.:    WO/2018/080744    International Application No.:    PCT/US2017/054935
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 04 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/677
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC
Inventors: VINCENT, Joseph
KUCHAR, Michael
HRUZEK, Dean C.
SOUNDARRAJAN, Vijayabaskar
MADDHERLA, Pandu
WYATT, Adam J.
MCANDREW, Robert M.
Title: INTERFACES DE MODULE FRONTAL D'ÉQUIPEMENT FLEXIBLE, MODULES FRONTAUX D'ÉQUIPEMENT À COMMANDES ENVIRONNEMENTALES, ET PROCÉDÉS D'ASSEMBLAGE
Abstract:
La présente invention concerne une interface de module frontal d'équipement d'un module frontal d'équipement qui comprend des commandes environnementales. L'interface de module frontal d'équipement comprend un premier élément de montage conçu pour s'accoupler à un ensemble de verrouillage de charge, et un joint flexible accouplé au premier élément de montage. Le joint flexible assure l'étanchéité entre le module frontal d'équipement et l'ensemble de verrouillage de charge et reçoit également un désalignement axial et un autre désalignement entre l'ensemble de verrouillage de charge et le module frontal d'équipement pendant l'assemblage. L'invention concerne également des modules frontaux d'équipement comprenant l'interface de module frontal d'équipement et des procédés d'assemblage d'un ensemble de verrouillage de charge au module frontal d'équipement au moyen de l'interface de module frontal d'équipement, ainsi que d'autres aspects.