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1. (WO2018080469) ADAPTATEUR D'ALIGNEMENT UNIVERSEL

Pub. No.:    WO/2018/080469    International Application No.:    PCT/US2016/058783
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 27 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01J 29/07
Applicants: ADVANTECH GLOBAL, LTD
MONTO, David, N.
Inventors: MONTO, David, N.
BUCCI, Brian, Arthur
TUNG, Shen-Chih
TAMURA, Nobuhiko
LITTLE, Whitten, E., Jr.
Title: ADAPTATEUR D'ALIGNEMENT UNIVERSEL
Abstract:
Selon la présente invention, dans un procédé et un appareil de tension de masque perforé, un masque perforé soutenu par un cadre de support est positionné entre un cadre de masque perforé et un ensemble d'actionneurs, une partie du masque perforé s'étendant à travers un espace entre le cadre de support et le cadre de masque perforé. Sous la commande d'un dispositif de commande programmé, l'ensemble d'actionneurs est amené à déplacer simultanément de nombreux emplacements espacés de la partie du masque perforé dans l'espace pour aligner des ouvertures d'alignement du masque perforé sur des positions prédéterminées dans des champs de vision de caméras positionnées pour observer les ouvertures d'alignement. Le masque perforé est ensuite fixé au cadre de masque perforé.