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1. (WO2018080058) APPAREIL D'INSPECTION D'ALIGNEMENT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'ALIGNEMENT L'UTILISANT
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N° de publication : WO/2018/080058 N° de la demande internationale : PCT/KR2017/011276
Date de publication : 03.05.2018 Date de dépôt international : 13.10.2017
CIB :
G01N 21/88 (2006.01) ,G01N 3/42 (2006.01) ,G06T 7/00 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 21/88][IPC code unknown for G01N 3/42][IPC code unknown for G06T 7]
Déposants :
에이피시스템 주식회사 AP SYSTEMS INC. [KR/KR]; 경기도 화성시 동탄면 동탄산단8길 15-5 15-5, Dongtansandan 8-gil, Dongtan-myeon Hwaseong-si Gyeonggi-do 18487, KR
Inventeurs :
황혁 HWANG, Huck; KR
정해원 CHEONG, Hae Wen; KR
이동주 LEE, Dong Ju; KR
홍은수 HONG, Eun Soo; KR
Mandataire :
남승희 NAM, Seung-Hee; 서울시 강남구 역삼로 124, 2층 (역삼동, 청보빌딩) (Cheongbo Bldg., Yeoksam-dong) 2F, 124, Yeoksam-ro, Gangnam-gu, Seoul 06251, KR
Données relatives à la priorité :
10-2016-013929725.10.2016KR
Titre (EN) ALIGNMENT INSPECTION APPARATUS AND ALIGNMENT INSPECTION METHOD USING SAME
(FR) APPAREIL D'INSPECTION D'ALIGNEMENT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'ALIGNEMENT L'UTILISANT
(KO) 얼라인 검사 장치 및 이를 이용한 얼라인 검사 방법
Abrégé :
(EN) According to one embodiment of the present invention, an alignment inspection apparatus, which uses indentations of conductive particles included in a conductive film arranged between a first electrode extending a predetermined length from a first substrate and a second electrode extending a predetermined length from a second substrate, comprises: an image capturing unit for capturing a plurality of indentation images formed along the first electrode or the second electrode by the conductive particles; a first straight line calculation unit for calculating a first straight line, which indicates a progress direction of the indentation images, by applying a least square method to the plurality of indentation images; a second straight line calculation unit for calculating a second straight line extending in the same direction as the extending direction of the first electrode or the second electrode; and an angle calculation unit for calculating the angle formed by the first straight line with respect to the second straight line.
(FR) La présente invention concerne, selon un mode de réalisation, un appareil d'inspection d'alignement, qui utilise des indentations de particules conductrices incluses dans un film conducteur disposé entre une première électrode s'étendant sur une longueur prédéterminée à partir d'un premier substrat et une seconde électrode s'étendant sur une longueur prédéterminée à partir d'un second substrat, qui comprend : une unité de capture d'image pour capturer une pluralité d'images d'indentation formées le long de la première électrode ou de la seconde électrode par les particules conductrices; une première unité de calcul de ligne droite pour calculer une première ligne droite, qui indique une direction de progression des images d'indentation, par application d'un procédé des moindres carrés à la pluralité d'images d'indentation; une seconde unité de calcul de ligne droite pour calculer une seconde ligne droite s'étendant dans la même direction que la direction d'extension de la première électrode ou de la seconde électrode; et une unité de calcul d'angle pour calculer l'angle formé par la première ligne droite par rapport à la seconde ligne droite.
(KO) 본 발명에 따른 일 실시 예는, 제 1 기판에 일정한 길이로 연장된 제 1 전극과 제 2 기판에 일정한 길이로 연장된 제 2 전극의 사이에 배치된 도전성 필름에 포함된 도전 입자의 압흔을 이용한 얼라인 검사 장치에 있어서, 상기 도전 입자에 의해 상기 제 1 전극 또는 상기 제 2 전극을 따라 형성된 다수의 압흔 이미지를 촬영하는 이미지 촬영부, 상기 다수의 압흔 이미지에 최소 자승법을 적용하여 상기 압흔 이미지의 진행 방향을 표시하는 제 1 직선을 산출하는 제 1 직선 산출부, 상기 제 1 전극 또는 상기 제 2 전극의 연장 방향과 동일한 방향으로 연장된 제 2 직선을 산출하는 제 2 직선 산출부, 및 상기 제 2 직선을 기준으로 상기 제 1 직선이 이루는 각도를 산출하는 각도산출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)