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1. (WO2018079675) COMPOSITION D'AGENT DE RINÇAGE POUR TRANCHES DE SILICIUM

Pub. No.:    WO/2018/079675    International Application No.:    PCT/JP2017/038767
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Oct 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/304
C11D 7/04
C11D 7/08
C11D 7/20
C11D 7/22
Applicants: KAO CORPORATION
花王株式会社
Inventors: UCHIDA Yohei
内田洋平
Title: COMPOSITION D'AGENT DE RINÇAGE POUR TRANCHES DE SILICIUM
Abstract:
La composition d'agent de rinçage pour tranches de silicium selon la présente invention comprend un polymère soluble dans l'eau et de l'eau, le polymère soluble dans l'eau présentant une différence (Z-Z0) de 25 mV ou moins entre le potentiel zêta Z d'une dispersion aqueuse de silice contenant un polymère soluble dans l'eau (dispersion aqueuse S) qui comprend le polymère soluble dans l'eau, des particules de silice, de l'eau et, si nécessaire, de l'acide chlorhydrique ou de l'ammoniac, et qui a une concentration de polymère soluble dans l'eau de 0,1 % en masse, une concentration de particules de silice de 0,1 % en masse, et un pH de 7,0 à 25 °C, et le potentiel zêta Z0 d'une dispersion aqueuse de silice (dispersion aqueuse S0) qui comprend des particules de silice, de l'eau et, si nécessaire, de l'acide chlorhydrique ou de l'ammoniac, et qui a une concentration de particules de silice de 0,1 % en masse et un pH de 7,0 à 25° C.