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1. (WO2018079669) DISPOSITIF DE MIROIR DE BALAYAGE OPTIQUE BIDIMENSIONNEL, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, DISPOSITIF DE BALAYAGE OPTIQUE BIDIMENSIONNEL ET DISPOSITIF DE PROJECTION D'IMAGE
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N° de publication : WO/2018/079669 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/038740
Date de publication : 03.05.2018 Date de dépôt international : 26.10.2017
CIB :
G02B 26/10 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01)
[IPC code unknown for G02B 26/10][IPC code unknown for B81B 3][IPC code unknown for G02B 26/08]
Déposants :
国立大学法人福井大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION UNIVERSITY OF FUKUI [JP/JP]; 福井県福井市文京3丁目9番1号 9-1 Bunkyo 3-chome, Fukui-city, Fukui 9108507, JP
Inventeurs :
勝山 俊夫 KATSUYAMA, Toshio; JP
石神 龍哉 ISHIGAMI, Ryoya; JP
Mandataire :
土井 健二 DOI, Kenji; JP
林 恒徳 HAYASHI, Tsunenori; JP
眞鍋 潔 MANABE, Kiyoshi; JP
Données relatives à la priorité :
2016-21297631.10.2016JP
Titre (EN) TWO-DIMENSIONAL OPTICAL SCANNING MIRROR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, TWO-DIMENSIONAL OPTICAL SCANNING DEVICE, AND IMAGE PROJECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MIROIR DE BALAYAGE OPTIQUE BIDIMENSIONNEL, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, DISPOSITIF DE BALAYAGE OPTIQUE BIDIMENSIONNEL ET DISPOSITIF DE PROJECTION D'IMAGE
(JA) 2次元光走査ミラー装置、その製造方法、2次元光走査装置及び画像投影装置
Abrégé :
(EN) The objective of the present invention is to simplify the structure and reduce the size of a mirror movable part in a two-dimensional optical scanning mirror device, a two-dimensional optical scanning device, and an image projection device. A movable mirror part (10) is supported on a substrate so as to enable two-dimensional scanning, a hard magnetic thin film having a magnetization direction in the film plane direction is provided on the movable mirror part (10), and a magnetic field generation device (30) that includes at least an alternating-current magnetic field generation device for driving the movable mirror part is provided. The ratio of the magnetic field generated by the magnetic field generation device to the coercivity of the hard magnetic thin film is 0.2 or less.
(FR) La présente invention a pour objet de simplifier la structure et de réduire la taille d'une partie de miroir mobile dans un dispositif de miroir de balayage optique bidimensionnel, un dispositif de balayage optique bidimensionnel, et un dispositif de projection d'image. Une partie de miroir mobile (10) est supportée sur un substrat de façon à permettre un balayage bidimensionnel, un film mince magnétique dur ayant une direction de magnétisation dans la direction du plan de film est disposé sur la partie de miroir mobile (10), et un dispositif de génération de champ magnétique (30) qui comprend au moins un dispositif de génération de champ magnétique à courant alternatif pour entraîner la partie de miroir mobile est fourni. Le rapport du champ magnétique généré par le dispositif de génération de champ magnétique à la force coercitive du film mince magnétique dur est de 0,2 ou moins.
(JA) 本発明は、2次元光走査ミラー装置、2次元光走査装置及び画像投影装置において、ミラー可動部の構造を単純化し、且つ、小型化することを目的とする。本発明の2次元光走査ミラー装置は、基板上に2次元走査可能に支持された可動ミラー部(10)を設け、前記可動ミラー部(10)に膜平面方向に磁化方向を有する硬質磁性薄膜を設けるとともに、前記可動ミラー部を駆動する交流磁場発生装置を少なくとも含む磁場発生装置(30)を設け、前記硬質磁性薄膜の保磁力に対する前記磁場発生装置が発生する磁場の比を0.2以下とする。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)