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1. (WO2018079351) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT LA COMPRENANT
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N° de publication : WO/2018/079351 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/037586
Date de publication : 03.05.2018 Date de dépôt international : 17.10.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 15/00 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01)
Déposants : KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA[JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
Inventeurs : FUKUSHIMA, Takayuki; --
YOSHIDA, Tetsuya; --
KINOSHITA, Shinya; --
Mandataire : PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
Données relatives à la priorité :
2016-21075727.10.2016JP
Titre (EN) SUBSTRATE GRIPPING HAND AND SUBSTRATE CONVEYING DEVICE COMPRISING SAME
(FR) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT LA COMPRENANT
(JA) 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置
Abrégé : front page image
(EN) Provided is a substrate gripping hand for gripping a disc-shaped substrate W that comprises: a base plate (11); and guide members (12) which are provided on the base plate (11), and formed in an L-like shape when viewed from the horizontal direction, the guide members (12) each including a horizontal portion (12h) on a proximal end portion of a bottom surface (12b), and being formed so that a first corner portion (12a1), which is a corner portion formed by the bottom surface (12b) and an inner wall surface (12i), is in a curved shape.
(FR) L'invention concerne une main de préhension de substrat pour saisir un substrat en forme de disque W qui comprend : une plaque de base (11); et des éléments de guidage (12) qui sont disposés sur la plaque de base (11), et formés sous une forme de L lorsqu'ils sont vus depuis la direction horizontale, les éléments de guidage (12) comprenant chacun une partie horizontale (12h) sur une partie d'extrémité proximale d'une surface inférieure (12b), et étant formé de telle sorte qu'une première partie de coin (12a1), qui est une partie de coin formée par la surface inférieure (12b) et une surface de paroi interne (12i), est sous une forme incurvée.
(JA) 円板状の基板Wを把持する基板把持ハンドであって、ベース板(11)と、ベース板(11)に設けられ、水平方向から見て、L字状に形成されていて、底面(12b)の基端部に水平部(12h)が設けられ、底面(12b)と内壁面(12i)とがなす角部である第1角部(12a1)が曲線状となるように形成されている、ガイド部材(12)を備える、基板把持ハンド。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)